[实用新型]一种易于安装的旋转硅铝靶材

说明书

本实用新型提供了一种易于安装的旋转硅铝靶材，涉及靶材技术领域，其包括背衬管、接合件和靶材体，所述背衬管上位于所述靶材体长度方向其中一端设有若干嵌设在所述靶材体内壁上的定位凸起，且所述定位凸起沿所述背衬管截面的半径方向滑移设置，所述背衬管上远离其设置所述定位凸起一端设有与所述靶材体侧壁相互抵接的环形抵接板，所述环形抵接板上设有保持所述靶材体与所述背衬管圆心一致的定位装置，所述环形抵接板可拆卸连接设置在所述背衬管上，通过嵌设在靶材体内壁上的定位凸起及环形抵接板对靶材体水平方向的位置进行固定，防止在进行安装过程中，由于接合件粘着力不足导致靶材体受到外力作用而引起掉落。

技术领域

本实用新型涉及靶材技术领域，特别涉及一种易于安装的旋转硅铝靶材。

背景技术

磁控溅镀法是通过在溅镀系统中加装磁控装置，通过磁场与电场之间的电磁效应改变电浆内电子的移动，达到提高游离率与溅镀效率的目的；现有技术中为了提高靶材的使用效率，通常选用旋转靶材来进行磁控溅镀工艺。在组装过程中，现有技术多半是利用低熔点金属作为焊料，将此焊料填入旋转靶材的靶材体与背衬管之间的间隙，以达到接合的目的。

因此，公开号为“CN107663630A”的中国专利公开了一种旋转靶材，其包含靶材体、背衬管及接合件，所述接合件设置于所述靶材体与所述背衬管之间，且所述接合件包含可压缩结构与导电导热胶，所述可压缩结构为可压缩毯或可压缩片。

上述技术方案中所披露的一种旋转靶材，其利用接合件接合靶材体和背衬管不仅简化了旋转靶材的工艺，还能在维持靶材体和背衬管的接合强度的同时，提升旋转靶材的溅镀功率耐受度，进而提升其溅镀效率，但是由于靶材体与背衬管之间通过接合件固定，而在进行安装过程中，接合件为流状物质，从而在进行安装过程中不能准确地对靶材体进行定位，从而导致在进行接合件冷凝过程中，靶材体容易从背衬管上掉落下来，导致不能稳定安装的情况发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种易于安装的旋转硅铝靶材，其具有在进行安装过程中在背衬管上对靶材体进行定位的特点。

一种易于安装的旋转硅铝靶材，包括背衬管、接合件和靶材体，所述背衬管上位于所述靶材体长度方向其中一端设有若干嵌设在所述靶材体内壁上的定位凸起，且所述定位凸起沿所述背衬管截面的半径方向滑移设置，所述背衬管上远离其设置所述定位凸起一端设有与所述靶材体侧壁相互抵接的环形抵接板，所述环形抵接板上设有保持所述靶材体与所述背衬管圆心一致的定位装置，所述环形抵接板可拆卸连接设置在所述背衬管上。

通过采用上述技术方案，通过嵌设在靶材体内壁上的定位凸起及环形抵接板对靶材体水平方向的位置进行固定，防止在进行安装过程中，由于接合件粘着力不足导致靶材体受到外力作用而引起掉落，且通过定位装置保持定位凸起的抵接，避免了靶材体在竖直方向上的晃动。

优选的，所述背衬管上设有供所述定位凸起滑移的定位槽，所述定位槽内设有抵接在所述定位凸起底部的抵接弹簧。

通过采用上述技术方案，通过抵接弹簧的固定，在加工完成后，定位凸起始终嵌设在靶材体的侧壁上，进一步防止了在进行使用过程中，由于外力作用导致靶材体的脱落。

优选的，所述定位凸起背离所述环形抵接板一侧设有倾斜面，所述倾斜面倾斜向上设置。

通过采用上述技术方案，在进行安装过程中，首先通过靶材体的侧壁与定位凸起上的倾斜面相互抵接，继续滑移使得定位凸起在倾斜面与靶材体上推力的共同作用下先定位槽内滑移，从而使得安装时定位凸起不会对靶材体的滑移造成影响。

优选的，所述定位装置包括设置在所述环形抵接板上且嵌设在所述靶材体内呈环形的定位凸缘。

通过采用上述技术方案，由于靶材体与背衬管之间通过接合件固定，加热之前，接合件呈流状，靶材体容易在背衬管上晃动，通过设置定位凸缘，固定过程中，通过定位凸缘对靶材体进行位置的固定，从而保证了靶材体与背衬管始终同心设置。