[实用新型]一种易于安装的旋转硅铝靶材

权利要求书

1.一种易于安装的旋转硅铝靶材，包括背衬管（1）、接合件（2）和靶材体（3），其特征在于：所述背衬管（1）上位于所述靶材体（3）长度方向其中一端设有若干嵌设在所述靶材体（3）内壁上的定位凸起（11），且所述定位凸起（11）沿所述背衬管（1）截面的半径方向滑移设置，所述背衬管（1）上远离其设置所述定位凸起（11）一端设有与所述靶材体（3）侧壁相互抵接的环形抵接板（4），所述环形抵接板（4）上设有保持所述靶材体（3）与所述背衬管（1）圆心一致的定位装置，所述环形抵接板（4）可拆卸连接设置在所述背衬管（1）上。

2.根据权利要求1所述的一种易于安装的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述背衬管（1）上设有供所述定位凸起（11）滑移的定位槽（12），所述定位槽（12）内设有抵接在所述定位凸起（11）底部的抵接弹簧（121）。

3.根据权利要求2所述的一种易于安装的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述定位凸起（11）背离所述环形抵接板（4）一侧设有倾斜面（111），所述倾斜面（111）倾斜向上设置。

4.根据权利要求1所述的一种易于安装的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述定位装置包括设置在所述环形抵接板（4）上且嵌设在所述靶材体（3）内呈环形的定位凸缘（41）。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种易于安装的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述背衬管（1）外侧侧壁上沿其长度方向阵列设有若干环形凹槽（13），所述接合件（2）上设有嵌设在所述环形凹槽（13）内的第一凸缘（21）。

6.根据权利要求5所述的一种易于安装的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述靶材体（3）上设有若干第二凹槽（31），所述接合件（2）上设有与所述第二凹槽（31）相互匹配的第二凸缘（22）。

7.根据权利要求6所述的一种易于安装的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述第二凹槽（31）与所述环形凹槽（13）截面均为梯形，且所述第二凹槽（31）与所述环形凹槽（13）梯形较窄一侧指向相对。

8.根据权利要求6或7所述的一种易于安装的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述靶材体（3）外侧设有完全覆盖所述靶材体（3）的保护层（32），所述保护层（32）可拆卸的包覆在所述靶材体（3）外侧。