[实用新型]晶圆的输送装置有效
| 申请号： | 201820302926.X | 申请日： | 2018-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN208120095U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王剑;董兵超;许振杰;姚宇;尹士龙;崔凯;王同庆;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G35/00 | 分类号： | B65G35/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆的输送装置，包括：滑轨，所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽；滑块，所述滑块可移动地设在所述滑槽内，所述晶圆与所述滑块相连；防护罩，所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽，所述防护罩位于所述滑块上方；支撑件，所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动，所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。根据本实用新型实施例的晶圆的输送装置具有干净整洁、使用寿命长、精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 防护罩 滑块 滑槽 输送装置 支撑件 滑轨 晶圆 本实用新型 长度方向延伸 滑块接触 可移动地 使用寿命 种晶 整洁 移动 支撑 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆的输送装置，其特征在于，包括：滑轨，所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽；滑块，所述滑块可移动地设在所述滑槽内，所述晶圆与所述滑块相连；防护罩，所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽，所述防护罩位于所述滑块上方；支撑件，所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动，所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。
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B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机
B65G35-00 其他类不包含的机械输送机
B65G35-02 . 包含有配置成使圆柱形物件在支承表面上滚动的环形牵引元件，如牵引带
B65G35-04 . 包含有挠性载荷运载体，如输送带的，此挠性载荷运载体在一端卷紧而在另一端放松
B65G35-06 . 包含有沿一通路，如封闭通路移动的荷载运载体，并且此运载体适合于与沿通路间隔配置的一系列牵引元件中的任何一个啮合
B65G35-08 . 包含有可在通路，如封闭通路内移动的互不连接的载荷运载体系列，如许多皮带区段，这些载体适合于相互接触并由配置成使每个载荷运载体依次啮合的装置推进
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B65G35-06 . 包含有沿一通路，如封闭通路移动的荷载运载体，并且此运载体适合于与沿通路间隔配置的一系列牵引元件中的任何一个啮合
B65G35-08 . 包含有可在通路，如封闭通路内移动的互不连接的载荷运载体系列，如许多皮带区段，这些载体适合于相互接触并由配置成使每个载荷运载体依次啮合的装置推进
