[实用新型]晶圆的输送装置

权利要求书

1.一种晶圆的输送装置，其特征在于，包括：

滑轨，所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽；

滑块，所述滑块可移动地设在所述滑槽内，所述晶圆与所述滑块相连；

防护罩，所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽，所述防护罩位于所述滑块上方；

支撑件，所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动，所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。

2.根据权利要求1所述的晶圆的输送装置，其特征在于，所述支撑件包括滚轮，所述滚轮在所述滑槽内可滚动。

3.根据权利要求2所述的晶圆的输送装置，其特征在于，所述支撑件还包括支座，所述支座与所述滑块相连，所述滚轮设在所述支座上。

4.根据权利要求3所述的晶圆的输送装置，其特征在于，所述支座包括多个，多个所述支座相对于所述滑块的滑动方向对称设在所述滑块的两侧。

5.根据权利要求3所述的晶圆的输送装置，其特征在于，所述支座包括多个，多个所述支座沿所述滑块的滑动方向设在所述滑块的两端。

6.根据权利要求3所述的晶圆的输送装置，其特征在于，所述滑块为矩形，所述支座包括四个，四个所述支座分别设在所述滑块的四个顶角处且沿所述滑块的滑动方向延伸。

7.根据权利要求3所述的晶圆的输送装置，其特征在于，所述支座上设有连接轴，所述滚轮可转动地设在所述连接轴上。

8.根据权利要求7所述的晶圆的输送装置，其特征在于，所述连接轴邻近所述支座的自由端设置。

9.根据权利要求1所述的晶圆的输送装置，其特征在于，所述滑轨包括：

底板；

两个长侧板，所述长侧板沿所述底板的长度方向延伸，两个所述长侧板分别与所述底板的两个相对的长边相连后向上延伸；

两个宽侧板，所述宽侧板沿所述底板的宽度方向延伸，两个所述宽侧板分别与所述底板的两个相对的宽边相连后向上延伸，所述底板、两个所述长侧板和两个所述宽侧板共同限定出所述滑槽。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的晶圆的输送装置，其特征在于，所述滑块的宽度尺寸大于所述防护罩的宽度尺寸，所述滑块的宽度方向上超过所述防护罩的部分向上延伸有连接部，所述晶圆的输送装置还包括托板，所述托板与所述连接部相连，所述晶圆与所述托板相连。