[实用新型]晶圆的输送装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆的输送装置，包括：滑轨，所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽；滑块，所述滑块可移动地设在所述滑槽内，所述晶圆与所述滑块相连；防护罩，所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽，所述防护罩位于所述滑块上方；支撑件，所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动，所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。根据本实用新型实施例的晶圆的输送装置具有干净整洁、使用寿命长、精度高等优点。

技术领域

本实用新型涉及传动技术领域，具体地，涉及一种晶圆的输送装置。

背景技术

相关技术中的直线模组晶圆的输送装置，通常设置有防护罩，以防止杂物进入模组内对模组传动造成影响,同时可以防止模组内的油污等溢出影响外部环境。当直线模组过长时，防护罩刚度不够产生弯曲，和滑块产生摩擦磨损，产生的磨屑污染环境，并且磨屑掉落到模组内会降低模组寿命和精度。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种晶圆的输送装置，所述晶圆的输送装置可以避免污染外部环境，并且使用使用寿命长、精度高。

根据本实用新型实施例的晶圆的输送装置包括：滑轨，所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽；滑块，所述滑块可移动地设在所述滑槽内，所述晶圆与所述滑块相连；防护罩，所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽，所述防护罩位于所述滑块上方；支撑件，所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动，所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。

根据本实用新型实施例的晶圆的输送装置具有干净整洁、使用寿命长、精度高等优点。

另外，根据本实用新型上述实施例的晶圆的输送装置还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，所述支撑件包括滚轮，所述滚轮可滚动地设在所述滑块上。

可选地，所述支撑件还包括支座，所述支座与所述滑块相连，所述滚轮在所述滑槽内可滚动。根据本实用新型的一个实施例，所述支座包括多个，多个所述支座相对于所述滑块的滑动方向对称设在所述滑块的两侧。

根据本实用新型的另一个实施例，所述支座包括多个，多个所述支座沿所述滑块的滑动方向设在所述滑块的两端。

根据本实用新型的一个可选的示例，所述滑块为矩形，所述支座包括四个，四个所述支座分别设在所述滑块的四个顶角处且沿所述滑块的滑动方向延伸。

可选地，所述支座上设有连接轴，所述滚轮可转动地设在所述连接轴上。

进一步地，所述连接轴邻近所述支座的自由端设置。

根据本实用新型的一个实施例，所述滑轨包括：底板；两个长侧板，所述长侧板沿所述底板的长度方向延伸，两个所述长侧板分别与所述底板的两个相对的长边相连后向上延伸；两个宽侧板，所述宽侧板沿所述底板的宽度方向延伸，两个所述宽侧板分别与所述底板的两个相对的宽边相连后向上延伸，所述底板、两个所述长侧板和两个所述宽侧板共同限定出所述滑槽。

根据本实用新型的一个实施例，所述滑块的宽度尺寸大于所述防护罩的宽度尺寸，所述滑块的宽度方向上超过所述防护罩的部分向上延伸有连接部，所述晶圆的输送装置还包括托板，所述托板与所述连接部相连，所述晶圆与所述托板相连。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的晶圆的输送装置的立体图；