[实用新型]多晶硅铸锭炉热场复合保温结构有效
| 申请号： | 201820275381.8 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN208087783U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;曹建伟;沈文杰;李林;胡建荣;俞安洲;石明智;董熔成;陈焕 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅铸锭炉设备，旨在提供多晶硅铸锭炉热场复合保温结构。该种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构；顶部保温结构包括连接固定的顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，用于设置在坩埚组件的上部；侧部保温结构包括侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，侧部保温结构用于设置在坩埚组件的四周；底部保温结构包括底部外层固定热门和底部内层固定热门。本实用新型作为多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，在生产过程中能有效减少热量的损失，起到保温、温度均匀化及提高生产效率的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅铸锭炉 复合保温结构 保温结构 热场 侧部保温结构 保温板 顶层 本实用新型 坩埚组件 热门 内层保温板 外层保温板 温度均匀化 连接固定 上保温板 生产过程 生产效率 有效减少 内层 保温 中层 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，其特征在于，包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构；所述顶部保温结构包括连接固定的顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，用于设置在坩埚组件的上部；顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板都采用固化毡；所述侧部保温结构包括侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，侧部保温结构用于设置在坩埚组件的四周；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板都采用固化毡，且侧部中层保温板与侧部内层保温板之间、侧部中层保温板与侧部外层保温板之间分别设置有一层软毡；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板连接固定，侧部外层保温板与热场上下隔热笼组件固定连接；所述底部保温结构包括底部外层固定热门和底部内层固定热门，底部外层固定热门通过石墨支撑柱固定于下炉体中，底部内层固定热门安装于底部外层固定热门与DS块之间；外层固定热门和底部内层固定热门都采用固化毡；侧部保温结构与底部保温结构的结合处、侧部保温结构与顶部保温结构的结合处都采用迷宫型结构连接。
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