[实用新型]多晶硅铸锭炉热场复合保温结构

说明书

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉设备，旨在提供多晶硅铸锭炉热场复合保温结构。该种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构；顶部保温结构包括连接固定的顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，用于设置在坩埚组件的上部；侧部保温结构包括侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，侧部保温结构用于设置在坩埚组件的四周；底部保温结构包括底部外层固定热门和底部内层固定热门。本实用新型作为多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，在生产过程中能有效减少热量的损失，起到保温、温度均匀化及提高生产效率的作用。

技术领域

本实用新型是关于多晶硅铸锭炉设备领域，特别涉及多晶硅铸锭炉热场复合保温结构。

背景技术

目前多晶硅铸锭炉热场保温结构的材料均采用板状固化毡，拼接方式均采用对接或者角接的方式，由于热场内部空间与外部空间直接导通，热场内部热量将直接流失到热场外部较大空间处，而且会导致外部空间杂质进入热场内部从而会影响长晶质量。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能够有效减少热场内部热量的损失及杂质的进入的多晶硅铸锭炉热场复合保温结构。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构；

所述顶部保温结构包括连接固定的顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，用于设置在坩埚组件的上部；顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板都采用固化毡；

所述侧部保温结构包括侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，侧部保温结构用于设置在坩埚组件的四周；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板都采用固化毡，且侧部中层保温板与侧部内层保温板之间、侧部中层保温板与侧部外层保温板之间分别设置有一层软毡；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板连接固定，侧部外层保温板与热场上下隔热笼组件固定连接；

所述底部保温结构包括底部外层固定热门和底部内层固定热门，底部外层固定热门通过石墨支撑柱固定于下炉体中，底部内层固定热门安装于底部外层固定热门与DS块之间；外层固定热门和底部内层固定热门都采用固化毡；

侧部保温结构与底部保温结构的结合处、侧部保温结构与顶部保温结构的结合处都采用迷宫型结构连接。

作为进一步的改进，所述顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，采用C/C螺栓连接。

作为进一步的改进，所述侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，采用C/C螺栓固定。

作为进一步的改进，所述侧部外层保温板与热场上下隔热笼组件通过不锈钢螺栓紧固连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型作为多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，在生产过程中能有效减少热量的损失，起到保温、温度均匀化及提高生产效率的作用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中的迷宫形局部示意图。

图中的附图标记为：1底部外层固定热门；2底部内层固定热门；3DS块；4坩埚组件；5顶层上保温板；6顶层中保温板；7顶层下保温板；8侧部内层保温板；9侧部中层保温板；10侧部外层保温板。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

如图1所示的一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构，在工作环境下能起到保温、温度均匀化的作用，并能有效减少热量的损失。