[实用新型]多晶硅铸锭炉热场复合保温结构

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，其特征在于，包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构；

所述顶部保温结构包括连接固定的顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，用于设置在坩埚组件的上部；顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板都采用固化毡；

所述侧部保温结构包括侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，侧部保温结构用于设置在坩埚组件的四周；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板都采用固化毡，且侧部中层保温板与侧部内层保温板之间、侧部中层保温板与侧部外层保温板之间分别设置有一层软毡；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板连接固定，侧部外层保温板与热场上下隔热笼组件固定连接；

所述底部保温结构包括底部外层固定热门和底部内层固定热门，底部外层固定热门通过石墨支撑柱固定于下炉体中，底部内层固定热门安装于底部外层固定热门与DS块之间；外层固定热门和底部内层固定热门都采用固化毡；

侧部保温结构与底部保温结构的结合处、侧部保温结构与顶部保温结构的结合处都采用迷宫型结构连接。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，其特征在于，所述顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，采用C/C螺栓连接。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，其特征在于，所述侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，采用C/C螺栓固定。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，其特征在于，所述侧部外层保温板与热场上下隔热笼组件通过不锈钢螺栓紧固连接。