[实用新型]一种单晶炉四抽气口管道系统有效
申请号: | 201820232977.X | 申请日: | 2018-02-08 |
公开(公告)号: | CN207552496U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 张会现;洪东旭;楼刚刚;卲化水 | 申请(专利权)人: | 杞县东磁新能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人: | 宋林清 |
地址: | 475299 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉四抽气口管道系统,包括单晶炉室、主管道、真空阀和真空泵;双抽气口的结构使单晶炉室室内的气流分布和温度场分布不均匀,在远离抽气口严重影响硅棒品质;右下第二抽气支管道和右下第一抽气支管道、右上第二抽气支管道和右上第一抽气支管道与左上第一抽气支管道和左上第二抽气支管道之间连接处均设置有密封圈,且单晶炉室的左右两端的上下两侧均设有抽气管道,采用这种对称结构均匀分布的抽气口设置,同时采用真空泵,真空阀用于真空泵的控制,可以有效的解决传统双抽气口结构使单晶炉室的气流分布和温度场分布不均匀的现象,改善了工艺环境,使用起来操作方便快捷,实用性很高,大大了提高硅棒生产的质量。 | ||
搜索关键词: | 支管道 抽气 抽气口 单晶炉室 真空泵 温度场分布 管道系统 气流分布 不均匀 单晶炉 真空阀 硅棒 密封圈 本实用新型 抽气口结构 抽气管道 对称结构 工艺环境 上下两侧 主管道 室内 生产 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉四抽气口管道系统,包括单晶炉室(1)、主管道(12)、真空阀(11)和真空泵(10);其特征在于,所述单晶炉室(1)的右侧上端设有右上第一抽气支管道(2),右上第一抽气支管道(2)的另一侧设有右上第二抽气支管道(5),且右上第二抽气支管道(5)和右上第一抽气支管道(2)的中间设有右上中通管道(4),单晶炉室(1)的右侧下端设有右下第一抽气支管道(6),右下第一抽气支管道(6)的另一侧设有右下第二抽气支管道(8),且右下第二抽气支管道(8)和右下第一抽气支管道(6)的中间设有右下中通管道(7);所述单晶炉室(1)的左侧上端设有左上第一抽气支管道(13),左上第一抽气支管道(13)的另一侧设有左上第二抽气支管道(15),左上第一抽气支管道(13)和左上第二抽气支管道(15)之间设有左中通管道(14),且单晶炉室(1)的左侧下端均设有与左上第一抽气支管道(13)和左上第二抽气支管道(15)对应的管道;所述右上中通管道(4)、右下中通管道(7)和左中通管道(14)上均设有主管道(12),主管道(12)的下侧设有真空阀(11),主管道(12)的端部设有真空泵(10);所述真空泵(10)的内部左侧设有排气口(16),真空泵(10)的右侧设有吸气口(19),排气口(16)上设有橡胶球(20),真空泵(10)的中间设有叶轮(17),真空泵(10)的内部与叶轮(17)之间设有水环(18)。
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