[实用新型]一种单晶炉四抽气口管道系统有效
| 申请号： | 201820232977.X | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN207552496U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 张会现;洪东旭;楼刚刚;卲化水 | 申请（专利权）人： | 杞县东磁新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人： | 宋林清 |
| 地址： | 475299 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支管道 抽气 抽气口 单晶炉室 真空泵 温度场分布 管道系统 气流分布 不均匀 单晶炉 真空阀 硅棒 密封圈 本实用新型 抽气口结构 抽气管道 对称结构 工艺环境 上下两侧 主管道 室内 生产 | ||
1.一种单晶炉四抽气口管道系统，包括单晶炉室(1)、主管道(12)、真空阀(11)和真空泵(10)；其特征在于，所述单晶炉室(1)的右侧上端设有右上第一抽气支管道(2)，右上第一抽气支管道(2)的另一侧设有右上第二抽气支管道(5)，且右上第二抽气支管道(5)和右上第一抽气支管道(2)的中间设有右上中通管道(4)，单晶炉室(1)的右侧下端设有右下第一抽气支管道(6)，右下第一抽气支管道(6)的另一侧设有右下第二抽气支管道(8)，且右下第二抽气支管道(8)和右下第一抽气支管道(6)的中间设有右下中通管道(7)；
所述单晶炉室(1)的左侧上端设有左上第一抽气支管道(13)，左上第一抽气支管道(13)的另一侧设有左上第二抽气支管道(15)，左上第一抽气支管道(13)和左上第二抽气支管道(15)之间设有左中通管道(14)，且单晶炉室(1)的左侧下端均设有与左上第一抽气支管道(13)和左上第二抽气支管道(15)对应的管道；所述右上中通管道(4)、右下中通管道(7)和左中通管道(14)上均设有主管道(12)，主管道(12)的下侧设有真空阀(11)，主管道(12)的端部设有真空泵(10)；
所述真空泵(10)的内部左侧设有排气口(16)，真空泵(10)的右侧设有吸气口(19)，排气口(16)上设有橡胶球(20)，真空泵(10)的中间设有叶轮(17)，真空泵(10)的内部与叶轮(17)之间设有水环(18)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉四抽气口管道系统，其特征在于，所述右下第二抽气支管道(8)和右下第一抽气支管道(6)、右上第二抽气支管道(5)右上第一抽气支管道(2)与左上第一抽气支管道(13)和左上第二抽气支管道(15)之间连接处均设置有密封圈。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉四抽气口管道系统，其特征在于，所述单晶炉室(1)的上侧设有进口(3)，单晶炉室(1)的下侧设有底座(9)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉四抽气口管道系统，其特征在于，所述主管道(12)为双层密封结构。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉四抽气口管道系统，其特征在于，所述水环(18)为循环冷却水。
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