[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201820213684.7 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN207911008U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 张睿;张金宇;康婷 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及固定支撑于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置的背极板，所述振膜设有贯穿其边缘的泄气部，所述基底包括环绕形成所述背腔的内侧面及自所述内侧面的向远离所述背腔方向凹陷形成的泄气槽，所述泄气槽与所述泄气部对应设置并且分别与所述泄气部和所述背腔连通。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风，所述基底设置有所述泄气槽使得所述背腔内的泄气空间增大，气流更容易通过，减小了气流对所述振膜的冲击时间，降低了所述振膜出现破膜而导致失效的风险，从而使得所述MEMS麦克风的可靠性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 背腔 振膜 基底 泄气槽 泄气 本实用新型 电容系统 固定支撑 间隔设置 泄气空间 背极板 凹陷 减小 破膜 连通 环绕 侧面 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及固定支撑于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置的背极板，其特征在于：所述振膜设有贯穿其边缘的泄气部，所述基底包括环绕形成所述背腔的内侧面及自所述内侧面的向远离所述背腔方向凹陷形成的泄气槽，所述泄气槽与所述泄气部对应设置并且分别与所述泄气部和所述背腔连通。
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