[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201820213684.7 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN207911008U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 张睿;张金宇;康婷 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背腔 振膜 基底 泄气槽 泄气 本实用新型 电容系统 固定支撑 间隔设置 泄气空间 背极板 凹陷 减小 破膜 连通 环绕 侧面 贯穿 | ||
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及固定支撑于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置的背极板，其特征在于：所述振膜设有贯穿其边缘的泄气部，所述基底包括环绕形成所述背腔的内侧面及自所述内侧面的向远离所述背腔方向凹陷形成的泄气槽，所述泄气槽与所述泄气部对应设置并且分别与所述泄气部和所述背腔连通。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜包括位于所述背腔中的本体部以及自所述本体部向背极板方向延伸的多个间隔设置的延伸部，所述振膜通过所述延伸部固定在所述基底上。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述相邻的延伸部之间形成所述泄气部。
4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述延伸部设有四个，并且四个所述延伸部等距间隔设置。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述本体部为矩形，所述延伸部自所述本体部的角部向外部延伸形成。
6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述基底还包括自所述内侧面向远离所述背腔方向凹陷形成的凹陷部，所述凹陷部与所述延伸部对应设置并且用于对所述延伸部提供振动让位。
7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述内侧面沿垂直于所述振膜的振动方向的截面为矩形，所述凹陷部位于所述内侧面的角部。
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