[实用新型]MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及固定支撑于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置的背极板，所述振膜设有贯穿其边缘的泄气部，所述基底包括环绕形成所述背腔的内侧面及自所述内侧面的向远离所述背腔方向凹陷形成的泄气槽，所述泄气槽与所述泄气部对应设置并且分别与所述泄气部和所述背腔连通。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风，所述基底设置有所述泄气槽使得所述背腔内的泄气空间增大，气流更容易通过，减小了气流对所述振膜的冲击时间，降低了所述振膜出现破膜而导致失效的风险，从而使得所述MEMS麦克风的可靠性更高。

【技术领域】

本实用新型涉及电声转换领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。

【背景技术】

近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。

相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及固定支撑于所述基底上的振膜和背极板，所述振膜和所述背极板相对且间隔设置形成电容结构。所述振膜设有位于其边缘区域的泄气部，当所述振膜遇到较大气流时，振膜会发生移动，通过所述泄气部使得气流快速穿过所述振膜，减小所述振膜破膜的可能性。

然而相关技术中，当所述振膜受到的气流方向为由所述振膜的远离所述背腔的一侧向所述背腔方向时，所述振膜向所述背腔方向产生移动，由于所述基底的限制，所述背腔内气体路径狭小造成泄气不畅，很容易导致所述振膜发生破膜。

因此，有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。

【实用新型内容】

本实用新型要解决的技术问题是提供一种泄气性能良好的MEMS麦克风。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及固定支撑于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜和与所述振膜间隔设置的背极板，所述振膜设有贯穿其边缘的泄气部，所述基底包括环绕形成所述背腔的内侧面及自所述内侧面的向远离所述背腔方向凹陷形成的泄气槽，所述泄气槽与所述泄气部对应设置并且分别与所述泄气部和所述背腔连通。

优选的，所述振膜包括位于所述背腔中的本体部以及自所述本体部向背极板方向延伸的多个间隔设置的延伸部，所述振膜通过所述延伸部固定在所述基底上。

优选的，所述相邻的延伸部之间形成所述泄气部。

优选的，所述延伸部设有四个，并且四个所述延伸部等距间隔设置。

优选的，所述本体部为矩形，所述延伸部自所述本体部的角部向外部延伸形成。

优选的，所述基底还包括自所述内侧面向远离所述背腔方向凹陷形成的凹陷部，所述凹陷部与所述延伸部对应设置并且用于对所述延伸部提供振动让位。

优选的，所述内侧面沿垂直于所述振膜的振动方向的截面为矩形，所述凹陷部位于所述内侧面的角部。