[实用新型]气相沉积炉尾气处理系统有效
| 申请号： | 201820171984.3 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN208065964U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 董家海 | 申请（专利权）人： | 浙江诺华陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D45/02;C23C16/44 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 刘计成 |
| 地址： | 322100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。该气相沉积炉尾气处理系统中能够有效防止尾气在管道内及真空泵上沉积，可有效延长设备的使用寿命，同时过滤罐采用空的罐体结构，无需添加任何化学试剂，罐体可重复使用，尾气沉积物也能够循环利用，可有效降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤罐 尾气处理系统 真空泵 进气口连接 炉体出气口 气相沉积炉 出气口 炉体 尾气 沉积物 本实用新型 炉体进气口 罐体结构 化学试剂 使用寿命 循环利用 沉积炉 可重复 空罐体 罐体 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，其特征在于：所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。
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