[实用新型]气相沉积炉尾气处理系统

权利要求书

1.一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，其特征在于：所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。

2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述第一真空泵为罗茨真空泵，第二真空泵为螺杆真空泵。

3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述炉体进气口与第一过滤罐的进气口之间的连接管道上设有手动真空插板阀。

4.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述第二真空泵的进气端设有单向阀。

5.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口之间通过波纹管连接。

6.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述第一过滤罐与所述第一真空泵之间通过活套法兰连接，所述第二过滤罐与所述第二真空泵之间通过活套法兰连接。

7.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述炉体支撑在机架上，所述机架底部设有减震垫，所述炉体与所述机架的连接处设有减震垫。