[实用新型]气相沉积炉尾气处理系统

说明书

本实用新型提供一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。该气相沉积炉尾气处理系统中能够有效防止尾气在管道内及真空泵上沉积，可有效延长设备的使用寿命，同时过滤罐采用空的罐体结构，无需添加任何化学试剂，罐体可重复使用，尾气沉积物也能够循环利用，可有效降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉，特别涉及一种用于气相沉积炉的尾气处理系统。

背景技术

学气相沉积炉是利用化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition）的原理， 将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。气相沉积炉主要由炉本 体（含炉底、下炉体、上炉体及隔热屏）、加热器、过滤系统、真空系统等组成。气相沉积炉排气系统随着尾气在排气系统中流动，其温度逐渐降低 ；随着尾气的温度降低，除过尾气中难以液化的 分子量很小的部分烃类以气体形式排出外，其余分子量较大的烃类尾气部分形成粘度很大的液体，附着在排气系统的管道、焦油罐、阀门、真空泵等器件内壁上，这样就会影响设备的正常使用。

中国发明专利（专利号：201210078238.7）公开了一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，焦油过滤器的入口通过排气管道与炉体的排气口连通。焦油过滤器的出口通过管道与波纹管的入口端连通。在焦油过滤器与炉体之间有入口压力计；在焦油过滤器的出口与波纹管之间有出口压力计。所述波纹管的出口端与真空泵的进气口通过管道连通；在波纹管与真空泵之间的管道上依次安装有伺服阀和截止阀。上述这种尾气处理装置虽然能够在一定程度上解决粘度大的液体粘连的问题，但由于真空泵的吸力有限，因此并不能完全解决该技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种能够对气相沉积炉尾气进行有效过滤，同时能保证尾气处理装置长时间正常工作的尾气处理系统。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。

优选的，所述第一真空泵为罗茨真空泵，第二真空泵为螺杆真空泵。

优选的，所述炉体进气口与第一过滤罐的进气口之间的连接管道上设有手动真空插板阀。

优选的，所述第二真空泵的进气端设有单向阀。

优选的，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口之间通过波纹管连接。

优选的，所述第一过滤罐与所述第一真空泵之间通过活套法兰连接，所述第二过滤罐与所述第二真空泵之间通过活套法兰连接。

优选的，所述炉体支撑在机架上，所述机架底部设有减震垫，所述炉体与所述机架的连接处设有减震垫。

如上所述，本气相沉积炉尾气处理系统具有以下有益效果：该气相沉积炉尾气处理系统设置三个过滤罐、两级真空泵，且过滤罐均采用空罐体，在使用时两级真空泵能有效提高尾气在管道内的流动速度，特别是在系统末端的流动速度，可防止尾气在管道及真空泵上沉积，而设计三个空的过滤罐，这样当尾气进入到过滤罐内时，由于过滤罐的体积较大，因此尾气经过过滤罐时流速会减慢，这样尾气就可在过滤罐中沉积，从而起到较好的尾气净化作用。该气相沉积炉尾气处理系统中能够有效防止尾气在管道内及真空泵上沉积，可有效延长设备的使用寿命，同时过滤罐采用空的罐体结构，无需添加任何化学试剂，罐体可重复使用，尾气沉积物也能够循环利用，可有效降低生产成本。