[实用新型]低压扩散通源装置、PN结制作设备以及电池生产系统

摘要

本实用新型涉及光伏电池制造技术，提出一种低压扩散通源装置、PN结制作设备以及电池生产系统，低压扩散通源装置包括：源瓶、进气管、出气管。源瓶用于储存掺杂源液；进气管第一端与惰性气源连接，第二端通过源瓶的进口伸入掺杂源液的液面以下；出气管第一端与低压扩散装置连接，第二端通过源瓶的出口伸入掺杂源液的液面以上；其中，出气管与进气管上分别设置有进气阀和出气阀，且进气阀与出气阀的开关状态相同。本实用新型通过将进气阀与出气阀的开关状态保持一致，一方面，避免了源瓶长期处于负压状态，降低了源瓶损坏的事故概率；另一方面，避免了在非通源状态下，源瓶内的掺杂源在负压作用下进入低压扩散装置，导致低压扩散装置内产品报废。

主权项

1.一种低压扩散通源装置，用于提供低压扩散装置需要的掺杂气体，其特征在于，包括：源瓶，具有用于储存掺杂源液的容置空间，所述源瓶瓶身设有接通所述容置空间进口与出口；进气管，第一端与惰性气源连接，第二端通过所述源瓶的进口伸入所述掺杂源液的液面以下；出气管，第一端与低压扩散装置连接，第二端通过所述源瓶的出口伸入所述掺杂源液的液面以上；其中，所述出气管与所述进气管上分别设置有进气阀和出气阀，且所述进气阀与所述出气阀并联受控，两者同步开启或截止。