[实用新型]低压扩散通源装置、PN结制作设备以及电池生产系统有效
| 申请号： | 201820160642.1 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN207883657U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 和江变;张鸿飞 | 申请（专利权）人： | 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/223 | 分类号： | H01L21/223;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王卫忠;袁礼君 |
| 地址： | 010010 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 源瓶 掺杂源 扩散装置 出气阀 出气管 进气阀 进气管 本实用新型 电池生产 制作设备 第一端 扩散 伸入 液面 开关状态保持 产品报废 惰性气源 负压状态 负压作用 光伏电池 开关状态 事故概率 储存 进口 出口 制造 | ||
1.一种低压扩散通源装置，用于提供低压扩散装置需要的掺杂气体，其特征在于，包括：
源瓶，具有用于储存掺杂源液的容置空间，所述源瓶瓶身设有接通所述容置空间进口与出口；
进气管，第一端与惰性气源连接，第二端通过所述源瓶的进口伸入所述掺杂源液的液面以下；
出气管，第一端与低压扩散装置连接，第二端通过所述源瓶的出口伸入所述掺杂源液的液面以上；
其中，所述出气管与所述进气管上分别设置有进气阀和出气阀，且所述进气阀与所述出气阀并联受控，两者同步开启或截止。
2.根据权利要求1所述的低压扩散通源装置，其特征在于，还包括：
恒温装置，位于所述源瓶外侧，用于为所述源瓶提供恒温环境。
3.根据权利要求1所述的低压扩散通源装置，其特征在于，还包括：
旁路管，第一端与所述进气管连接，且连接点位于所述进气阀与所述源瓶之间；第二端与所述出气管连接，且连接点位于所述出气阀与所述源瓶之间；
旁路阀，位于所述旁路管上。
4.根据权利要求1所述的低压扩散通源装置，其特征在于，所述源瓶的进口和出口处设置有密封垫，以在所述源瓶与所述进气管或所述出气管之间形成密封。
5.根据权利要求1-4任一项所述的低压扩散通源装置，其特征在于，所述进气阀与所述出气阀为电磁阀，所述进气阀与所述出气阀与同一控制开关连接，所述控制开关用于向所述进气阀、所述出气阀发送相同的控制信号。
6.根据权利要求1-4任一项所述的低压扩散通源装置，其特征在于，所述惰性气源为氮气气源。
7.根据权利要求1-4任一项所述的低压扩散通源装置，其特征在于，所述源瓶为透明瓶。
8.一种PN结制作设备，其特征在于，包括上述权利要求1-7任一项所述的低压扩散通源装置。
9.一种电池生产系统，其特征在于，包括上述权利要求8所述的PN结制作设备。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
