[实用新型]一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置有效
申请号: | 201820150775.0 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN207888433U | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 赵旭良 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/02 | 分类号: | B24B37/02;B24B37/27;B24B37/34 |
代理公司: | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人: | 董巍;高伟 |
地址: | 201306 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置,所述夹具包括成对配置的两个夹头,每个所述夹头包括:夹块,用于与晶棒端面相接触;压簧机构,用于使所述夹块将所述晶棒夹紧;以及设置于所述夹块上的调节柱,所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向,以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。本实用新型提供的用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置,可以保证晶棒与夹具轴心的同轴度,减少不必要的磨削量,从而节省原料及加工时间。 | ||
搜索关键词: | 夹具 晶棒 夹块 研磨装置 研磨 本实用新型 夹具轴心 调节柱 同轴度 夹头 成对配置 晶棒端面 晶棒夹紧 前后移动 压簧机构 磨削量 加工 保证 | ||
【主权项】:
1.一种用于晶棒外径研磨的夹具,其特征在于,所述夹具包括成对配置的两个夹头,每个所述夹头包括:夹块,用于与晶棒端面相接触;压簧机构,用于使所述夹块将所述晶棒夹紧;以及设置于所述夹块上的调节柱,所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向,以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。
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