[实用新型]一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置有效

专利信息
申请号: 201820150775.0 申请日: 2018-01-29
公开(公告)号: CN207888433U 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 赵旭良 申请(专利权)人: 上海新昇半导体科技有限公司
主分类号: B24B37/02 分类号: B24B37/02;B24B37/27;B24B37/34
代理公司: 北京市磐华律师事务所 11336 代理人: 董巍;高伟
地址: 201306 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置,所述夹具包括成对配置的两个夹头,每个所述夹头包括:夹块,用于与晶棒端面相接触;压簧机构,用于使所述夹块将所述晶棒夹紧;以及设置于所述夹块上的调节柱,所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向,以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。本实用新型提供的用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置,可以保证晶棒与夹具轴心的同轴度,减少不必要的磨削量,从而节省原料及加工时间。
搜索关键词: 夹具 晶棒 夹块 研磨装置 研磨 本实用新型 夹具轴心 调节柱 同轴度 夹头 成对配置 晶棒端面 晶棒夹紧 前后移动 压簧机构 磨削量 加工 保证
【主权项】:
1.一种用于晶棒外径研磨的夹具,其特征在于,所述夹具包括成对配置的两个夹头,每个所述夹头包括:夹块,用于与晶棒端面相接触;压簧机构,用于使所述夹块将所述晶棒夹紧;以及设置于所述夹块上的调节柱,所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向,以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。
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