[实用新型]一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置有效
| 申请号： | 201820150775.0 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN207888433U | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 赵旭良 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/02 | 分类号： | B24B37/02;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置，所述夹具包括成对配置的两个夹头，每个所述夹头包括：夹块，用于与晶棒端面相接触；压簧机构，用于使所述夹块将所述晶棒夹紧；以及设置于所述夹块上的调节柱，所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向，以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。本实用新型提供的用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置，可以保证晶棒与夹具轴心的同轴度，减少不必要的磨削量，从而节省原料及加工时间。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 晶棒 夹块 研磨装置 研磨 本实用新型 夹具轴心 调节柱 同轴度 夹头 成对配置 晶棒端面 晶棒夹紧 前后移动 压簧机构 磨削量 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶棒外径研磨的夹具，其特征在于，所述夹具包括成对配置的两个夹头，每个所述夹头包括：夹块，用于与晶棒端面相接触；压簧机构，用于使所述夹块将所述晶棒夹紧；以及设置于所述夹块上的调节柱，所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向，以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。
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