[实用新型]一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置有效
| 申请号： | 201820150775.0 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN207888433U | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 赵旭良 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/02 | 分类号： | B24B37/02;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹具 晶棒 夹块 研磨装置 研磨 本实用新型 夹具轴心 调节柱 同轴度 夹头 成对配置 晶棒端面 晶棒夹紧 前后移动 压簧机构 磨削量 加工 保证 | ||
1.一种用于晶棒外径研磨的夹具，其特征在于，所述夹具包括成对配置的两个夹头，每个所述夹头包括：
夹块，用于与晶棒端面相接触；
压簧机构，用于使所述夹块将所述晶棒夹紧；以及
设置于所述夹块上的调节柱，所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向，以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。
2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述调节柱上设置有偏心调节螺丝，所述偏心调节螺丝用于调节所述调节柱前后移动。
3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，每个所述夹头上设置有一个、两个或三个所述调节柱。
4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述调节柱相对于晶棒对称设置或非对称设置。
5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹块表面具有保护涂层。
6.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，还包括用于前后移动所述压簧机构的丝杆。
7.根据权利要求1-6任一项所述的夹具，其特征在于，所述调节柱单个前后移动或多个同时前后移动。
8.一种包括权利要求1-7之一所述夹具的晶棒外径研磨装置，其特征在于，还包括：同轴度检测机构，所述同轴度检测机构用于对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行检测。
9.根据权利要求8所述的研磨装置，其特征在于，还包括装卸机构，所述装卸机构用于进行所述晶棒的装卸。
10.根据权利要求8所述的研磨装置，其特征在于，还包括磨头，所述磨头用于对所述晶棒的外表面进行研磨。
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