[实用新型]夹爪装置及晶圆载运装置

摘要

一种夹爪装置及包含夹爪装置的晶圆载运装置。夹爪装置包含两个夹爪组件及一活动模块。两个夹爪组件彼此相对的一侧分别形成有第一夹持结构，各夹爪组件的另一侧形成有第二夹持结构。两个夹爪组件能活动地设置于活动模块，活动模块电性连接控制模块，控制模块能通过活动模块控制两个夹爪组件彼此靠近或彼此远离。两个夹爪组件被控制为彼此相互靠近时，两个第一夹持结构能夹持第一晶圆载具的辅助构件。两个夹爪组件被控制为彼此相互远离时，两个第二夹持结构能夹持第二晶圆载具的辅助构件。第一晶圆载具的结构与第二晶圆载具的结构不相同。

主权项

1.一种夹爪装置，其特征在于，所述夹爪装置包含：两个夹爪组件，两个所述夹爪组件彼此相面对的一侧，定义为一第一夹持侧，各个所述夹爪组件相反于所述第一夹持侧的一侧定义为一第二夹持侧，各个所述夹爪组件在所述第一夹持侧形成有一第一夹持结构，各个所述夹爪组件在所述第二夹持侧形成有一第二夹持结构；一活动模块，两个所述夹爪组件能活动地设置于所述活动模块，所述活动模块电性连接一控制模块，所述控制模块能控制两个所述夹爪组件彼此靠近或彼此远离；其中，两个所述夹爪组件被控制为彼此相互靠近时，两个所述第一夹持结构能夹持一第一晶圆载具的辅助构件；两个所述夹爪组件被控制为彼此相互远离时，两个所述第二夹持结构能夹持一第二晶圆载具的辅助构件；其中，所述第一晶圆载具的结构不同于所述第二晶圆载具的结构。