[实用新型]夹爪装置及晶圆载运装置

权利要求书

1.一种夹爪装置，其特征在于，所述夹爪装置包含：

两个夹爪组件，两个所述夹爪组件彼此相面对的一侧，定义为一第一夹持侧，各个所述夹爪组件相反于所述第一夹持侧的一侧定义为一第二夹持侧，各个所述夹爪组件在所述第一夹持侧形成有一第一夹持结构，各个所述夹爪组件在所述第二夹持侧形成有一第二夹持结构；

一活动模块，两个所述夹爪组件能活动地设置于所述活动模块，所述活动模块电性连接一控制模块，所述控制模块能控制两个所述夹爪组件彼此靠近或彼此远离；

其中，两个所述夹爪组件被控制为彼此相互靠近时，两个所述第一夹持结构能夹持一第一晶圆载具的辅助构件；两个所述夹爪组件被控制为彼此相互远离时，两个所述第二夹持结构能夹持一第二晶圆载具的辅助构件；其中，所述第一晶圆载具的结构不同于所述第二晶圆载具的结构。

2.根据权利要求1所述的夹爪装置，其特征在于，各个所述夹爪组件在所述第一夹持侧形成有一第一导引结构，各个所述夹爪组件的所述第一导引结构与所述第一夹持结构彼此相互连接，而各个所述第一导引结构能导引所述第一晶圆载具上的辅助构件与所述第一夹持结构相互配合。

3.根据权利要求1所述的夹爪装置，其特征在于，各个所述夹爪组件在所述第二夹持侧形成有一第二导引结构，各个所述夹爪组件的所述第二导引结构与所述第二夹持结构彼此相互连接，而各个所述第二导引结构能导引所述第二晶圆载具上的辅助构件与所述第二夹持结构相互配合。

4.根据权利要求1所述的夹爪装置，其特征在于，各个所述夹爪组件在所述第一夹持侧形成有一第三夹持结构，所述第三夹持结构与所述第一夹持结构彼此间隔设置；其中，两个所述夹爪组件被控制为彼此相互靠近时，两个所述第三夹持结构能夹持一第三晶圆载具；其中，所述第一晶圆载具的结构、所述第二晶圆载具的结构与所述第三晶圆载具的结构彼此不相同。

5.根据权利要求4所述的夹爪装置，其特征在于，各个所述夹爪组件在所述第一夹持侧形成有一第三导引结构，各个所述夹爪组件的所述第三导引结构与所述第三夹持结构彼此相互连接，而各个所述第三导引结构能导引所述第三晶圆载具上的辅助构件与所述第三夹持结构相互配合。

6.根据权利要求1所述的夹爪装置，其特征在于，各个所述夹爪组件的一端侧面设置有一挡板。

7.根据权利要求1所述的夹爪装置，其特征在于，形成所述第二夹持结构的一侧壁具有一避让槽，所述避让槽将所述侧壁区隔为一第一限位块及一第二限位块；当两个所述第二夹持结构对应夹持变化型的所述第二晶圆载具的辅助构件时，变化型的所述第二晶圆载具的辅助构件的部分能对应容纳于所述避让槽中，而所述第二限位块的部分能对应容纳于变化型的所述第二晶圆载具的辅助构件的一穿孔中。

8.一种晶圆载运装置，其特征在于，所述晶圆载运装置用以载运多个晶圆，所述晶圆载运装置包含：

一夹爪装置，其包含：

两个夹爪组件，两个所述夹爪组件彼此相面对的一侧，定义为一第一夹持侧，各个所述夹爪组件相反于所述第一夹持侧的一侧定义为一第二夹持侧，各个所述夹爪组件在所述第一夹持侧形成有一第一夹持结构，各个所述夹爪组件在所述第二夹持侧形成有一第二夹持结构；及

一活动模块，两个所述夹爪组件能活动地设置于所述活动模块，所述活动模块电性连接一控制模块，所述控制模块能控制两个所述夹爪组件彼此靠近或彼此远离；以及

一第一晶圆载具，所述第一晶圆载具的内部形成有一容置槽，所述第一晶圆载具的一顶面设置有一辅助构件；

其中，所述活动模块能受所述控制模块控制而使两个所述夹爪组件彼此相互靠近，以利用两个所述第一夹持结构夹持所述第一晶圆载具的辅助构件；所述活动模块能受所述控制模块控制而使两个所述夹爪组件彼此相互远离，以利用两个所述第二夹持结构夹持一第二晶圆载具的辅助构件；其中，所述第二晶圆载具的结构不同于所述第一晶圆载具的结构。