[实用新型]一种磁控溅射设备的装片装置有效
| 申请号： | 201820116824.9 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN208532923U | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张振健;陈显锋 | 申请（专利权）人： | 佛山市卓膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文 |
| 地址： | 528251 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射设备的装片装置，其包括多层样品架、支撑架、连接杆、电机和位置识别模块，所述多层样品架通过连接件与支撑架固定；所述支撑架与连接杆的上端连接；所述电机与连接杆的下端连接，用于驱动连接杆旋转和升降；所述位置识别模块安装在支撑架内或则连接杆内；所述支撑架呈“T”字形结构，其下端设置有对应安装在连接杆上的圆柱部；所述圆柱部的直径小于连接杆的直径，使得圆柱部刚好插入连接杆。本实用新型的多层样品架通过支撑架安装在连接杆上，所以电机能够驱动连接杆实现升降或者旋转，进而带动支撑架和多层样品架转动到相应位置，使多层样品架每层的装载缺口正对腔门，方便装载基片或取出样品。 | ||
| 搜索关键词： | 连接杆 支撑架 样品架 多层 圆柱部 磁控溅射设备 位置识别模块 本实用新型 驱动连接杆 电机 装片装置 下端 升降 装载 支撑架固定 插入连接 字形结构 连接件 上端 腔门 正对 转动 取出 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射设备的装片装置，其特征在于，包括多层样品架、支撑架、连接杆、电机和位置识别模块，所述多层样品架通过连接件与支撑架固定；所述支撑架与连接杆的上端连接；所述电机与连接杆的下端连接，用于驱动连接杆旋转和升降；所述位置识别模块安装在支撑架内或则连接杆内；所述支撑架呈“T”字形结构，其下端设置有对应安装在连接杆上的圆柱部；所述圆柱部的直径小于连接杆的直径，使得圆柱部刚好插入连接杆。
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