[实用新型]一种磁控溅射设备的装片装置

权利要求书

1.一种磁控溅射设备的装片装置，其特征在于，包括多层样品架、支撑架、连接杆、电机和位置识别模块，所述多层样品架通过连接件与支撑架固定；所述支撑架与连接杆的上端连接；所述电机与连接杆的下端连接，用于驱动连接杆旋转和升降；所述位置识别模块安装在支撑架内或则连接杆内；所述支撑架呈“T”字形结构，其下端设置有对应安装在连接杆上的圆柱部；所述圆柱部的直径小于连接杆的直径，使得圆柱部刚好插入连接杆。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射设备的装片装置，其特征在于，所述位置识别模块包括电路识别单元和红外识别单元，所述电路识别单元安装在连接杆内，所述红外识别单元安装在支撑架内。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射设备的装片装置，其特征在于，所述连接件为螺丝或者卡扣件。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射设备的装片装置，其特征在于，所述支撑架的底部设置有第一螺丝孔和凹槽，所述凹槽的表面光滑。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射设备的装片装置，其特征在于，所述连接杆上端设置有第二螺丝孔，所述第二螺丝孔 的直径与第一螺丝孔的直径相同。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射设备的装片装置，其特征在于，所述多层样品架包括多层装片层、顶部层和底部层，所述装片层通过双头螺丝安装在底部层上，所述装片层与装片层之间通过双头螺丝连接，所述顶部层通过双头螺丝安装在最上层的装片层上。

7.根据权利要求6所述的磁控溅射设备的装片装置，其特征在于，所述顶部层和底部层为平整的圆环，所述装片层设置有开口。

8.根据权利要求6所述的磁控溅射设备的装片装置，其特征在于，所述装片层、顶部层和底部层分分别设置有安装双头螺丝的第三螺丝孔。