[实用新型]一种稳定型固晶机有效
申请号: | 201820115968.2 | 申请日: | 2018-01-23 |
公开(公告)号: | CN207765418U | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 黄志军 | 申请(专利权)人: | 河源创基电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 东莞市永桥知识产权代理事务所(普通合伙) 44400 | 代理人: | 何新华 |
地址: | 517300 广东省河源市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型系提供一种稳定型固晶机,包括底板,底板的一侧依次设有料带收卷机构、料道和送料机构,底板的另一侧依次设有芯片定位机构和转移支架,转移支架上设有芯片转移机构;料道通过料道定位机构与底板连接,料道定位机构的传动方向与料道的传送方向垂直,料道上设有压料限位块;芯片定位机构的输出端固定有芯片盘固定架,芯片盘固定架的一侧固定有等离子风机,芯片盘固定架的下方设有上顶机构;转移支架上还设有第一摄像头和第二摄像头。本实用新型能够有效消除静电,防止静电对芯片造成影响,此外,能够减少真空吸头的定位动作,从而提高固晶加工的稳定性,延长固晶机的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 料道 底板 固定架 固晶机 芯片盘 支架 芯片定位机构 本实用新型 摄像头 定位机构 静电 稳定型 芯片 传动方向 传送方向 底板连接 定位动作 上顶机构 使用寿命 收卷机构 送料机构 真空吸头 转移机构 等离子 输出端 限位块 风机 固晶 料带 压料 垂直 加工 | ||
【主权项】:
1.一种稳定型固晶机,其特征在于,包括底板(10),所述底板(10)的一侧依次设有料带收卷机构(20)、料道(30)和送料机构(40),所述底板(10)的另一侧依次设有芯片定位机构(50)和转移支架(60),所述转移支架(60)上设有芯片转移机构(70);所述料道(30)通过料道定位机构(31)与底板(10)连接,所述料道定位机构(31)的传动方向与所述料道(30)的传送方向垂直,所述料道(30)上设有压料限位块(32);所述芯片定位机构(50)的输出端固定有芯片盘固定架(51),所述芯片盘固定架(51)的一侧固定有等离子风机(52),所述芯片盘固定架(51)的下方设有上顶机构(80);所述转移支架(60)上还设有第一摄像头(61)和第二摄像头(62),所述第一摄像头(61)位于料道(30)的上方,所述第二摄像头(62)位于所述上顶机构(80)的上方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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