[实用新型]一种可替换的蒸镀火山口清洁装置有效
| 申请号： | 201820104556.9 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN207828400U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 李飞;张向飞;李智勇;杨辉 | 申请（专利权）人： | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪 |
| 地址： | 223001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电子束蒸镀技术领域，涉及一种可替换的蒸镀火山口清洁装置。该装置包括装置主体和固定装置；所述的装置主体为中空的、上下开口的漏斗型结构，由铝或不锈钢制成；所述的装置主体的下方固定在蒸镀火山口上，该清洁装置尺寸与蒸镀火山口尺寸一致；所述的固定装置对称安装在装置主体的上部内侧壁，用于固定装置主体。每隔2‑3天拧下固定装置的固定螺丝，直接替换掉所述装置，节约保养时间。本实用新型的装置可节约设备保养时间，提高机台作业时间，增加机台稼动率和产能；可减少由于保养后未清洁干净残屑导致坩埚旋转卡住，减少异常产生；可将维护权限下放至普通作业人员，发现蒸镀火山口残金较多时可自行替换，不受人员班次影响。 | ||
| 搜索关键词： | 火山口 蒸镀 装置主体 清洁装置 保养 机台 本实用新型 固定装置 可替换 替换 固定装置主体 电子束蒸镀 漏斗型结构 上部内侧壁 下固定装置 尺寸一致 对称安装 固定螺丝 节约设备 上下开口 稼动率 中空的 残屑 产能 坩埚 不锈钢 卡住 下放 权限 清洁 节约 发现 维护 | ||
【主权项】：
1.一种可替换的蒸镀火山口清洁装置，其特征在于，所述的可替换的蒸镀火山口清洁装置包括装置主体(1)和固定装置(2)；所述的装置主体(1)为中空的、上下开口的漏斗型结构；所述的装置主体(1)的下方固定在蒸镀火山口上，该清洁装置尺寸与蒸镀火山口尺寸一致；所述的固定装置(2)对称安装在装置主体(1)的上部内侧壁，用于固定装置主体(1)。
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