[实用新型]一种可替换的蒸镀火山口清洁装置有效
| 申请号： | 201820104556.9 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN207828400U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 李飞;张向飞;李智勇;杨辉 | 申请（专利权）人： | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪 |
| 地址： | 223001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 火山口 蒸镀 装置主体 清洁装置 保养 机台 本实用新型 固定装置 可替换 替换 固定装置主体 电子束蒸镀 漏斗型结构 上部内侧壁 下固定装置 尺寸一致 对称安装 固定螺丝 节约设备 上下开口 稼动率 中空的 残屑 产能 坩埚 不锈钢 卡住 下放 权限 清洁 节约 发现 维护 | ||
【权利要求书】：
1.一种可替换的蒸镀火山口清洁装置，其特征在于，所述的可替换的蒸镀火山口清洁装置包括装置主体(1)和固定装置(2)；
所述的装置主体(1)为中空的、上下开口的漏斗型结构；所述的装置主体(1)的下方固定在蒸镀火山口上，该清洁装置尺寸与蒸镀火山口尺寸一致；
所述的固定装置(2)对称安装在装置主体(1)的上部内侧壁，用于固定装置主体(1)。
2.根据权利要求1所述的可替换的蒸镀火山口清洁装置，其特征在于，所述的装置主体(1)由铝或不锈钢制成。
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