[实用新型]一种可替换的蒸镀火山口清洁装置

说明书

本实用新型属于电子束蒸镀技术领域，涉及一种可替换的蒸镀火山口清洁装置。该装置包括装置主体和固定装置；所述的装置主体为中空的、上下开口的漏斗型结构，由铝或不锈钢制成；所述的装置主体的下方固定在蒸镀火山口上，该清洁装置尺寸与蒸镀火山口尺寸一致；所述的固定装置对称安装在装置主体的上部内侧壁，用于固定装置主体。每隔2‑3天拧下固定装置的固定螺丝，直接替换掉所述装置，节约保养时间。本实用新型的装置可节约设备保养时间，提高机台作业时间，增加机台稼动率和产能；可减少由于保养后未清洁干净残屑导致坩埚旋转卡住，减少异常产生；可将维护权限下放至普通作业人员，发现蒸镀火山口残金较多时可自行替换，不受人员班次影响。

技术领域

本实用新型属于电子束蒸镀技术领域，涉及一种可替换的蒸镀火山口清洁装置。

背景技术

一般火山口清洁通过以下步骤完成：

1、通过手动剥离方式清除残留金属；

2、不易清理的使用锤子和平口螺丝刀翘起；

3、清洁保养后的残渣并镀一层较厚的金属铝以方便下一次保养；

4、将保养的残留金属称取重量。

一般火山口清洁方法存在的问题如下：

1、保养耗费时间较长；

2、由于原物料铝要求纯度较高，保养后镀铝浪费原材料；

3、残留的金属屑不清理干净会导致坩埚旋转卡住，导致异常片的产生。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决上述问题，提供一种可替换的蒸镀火山口清洁装置。

本实用新型的技术方案：

一种可替换的蒸镀火山口清洁装置，包括装置主体1和固定装置2；

所述的装置主体1为中空的、上下开口的漏斗型结构，由铝或不锈钢制成；所述的装置主体1的下方固定在蒸镀火山口上，该清洁装置尺寸与蒸镀火山口尺寸一致；

所述的固定装置2对称安装在装置主体1的上部内侧壁，用于固定装置主体1。

本实用新型的有益效果：本实用新型的装置可节约设备保养时间，提高单机台作业时间，增加机台稼动率和产能；可减少由于保养后未清洁干净残屑导致坩埚旋转卡住，减少异常产生；可将维护权限下放至普通作业人员，发现蒸镀火山口残金较多时可自行替换，不受设备维护人员班次影响。

附图说明

图1为本实用新型的装置的整体示意图。

图中：1装置主体；2固定装置。

具体实施方式

下面结合附图和技术方案详细描述本实用新型的具体实施方式。

本实用新型的装置如图1所示。

一种可替换的蒸镀火山口清洁装置，主要包括装置主体1和固定装置2；

所述的装置主体1为中空的、上下开口的漏斗型结构，由铝或不锈钢制成；所述的装置主体1的下方固定在蒸镀火山口上，该清洁装置尺寸与蒸镀火山口尺寸一致；

所述的固定装置2对称安装在装置主体1的上部内侧壁，用于固定装置主体1。

每隔2-3天拧下固定装置2的固定螺丝，直接替换掉所述装置，节约保养时间。