[实用新型]一种硅片清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗装置，包括底座，所述底座为矩形空腔结构，所述底座的底端内壁的中间位置安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴末端贯穿底座的顶端侧壁且连接有转轴，所述转轴远离驱动电机的一端连接有放置板，所述底座的顶端侧壁设置有集水板，所述底座的顶端侧壁设置有环形轨道，所述环形轨道内活动安装有两个移动装置，两个移动装置位于环形轨道的两侧，所述移动装置上连接有支撑杆，两根支撑杆远离移动装置的一端连接有放置板。本实用新型结构简单，设计新颖，清洗效果更好，可以同时实现清洗和烘干两个功能，不需要分步进行，省时省力，同时可以对多个硅片进行清洗，简单方便，值得推广。

主权项

1.一种硅片清洗装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)为矩形空腔结构，所述底座(1)的底端内壁的中间位置安装有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出轴末端贯穿底座(1)的顶端侧壁且连接有转轴(3)，所述转轴(3)远离驱动电机(2)的一端连接有放置板(4)，所述底座(1)的顶端侧壁设置有集水板(5)，所述底座(1)的顶端侧壁设置有环形轨道(6)，所述环形轨道(6)内活动安装有两个移动装置(7)，两个移动装置(7)位于环形轨道(6)的两侧，所述移动装置(7)上连接有支撑杆(8)，两根支撑杆(8)远离移动装置(7)的一端连接有放置板(4)，所述放置板(4)的上表面圆周阵列设置有放置槽(16)，所述底座(1)上表面两侧对称安装有固定杆(9)，两根固定杆(9)之间固定有固定板(10)，所述固定板(10)上表面两侧对称设置有水箱(11)，所述水箱(11)上设置有清洗装置(12)，所述固定板(10)的上表面中间位置安装有风机(13)，所述固定板(10)下表面的中间位置固定有安装架(14)，所述安装架(14)上安装有电热条(15)。