[实用新型]一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉有效
| 申请号： | 201820095760.9 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN208026053U | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D19/00;C23C10/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件，炉体升降组件上设置有炉体；炉体的内部设置有安装在固定板上的真空室，真空室底部连接有过渡腔；过渡腔一端连通有冷阱装置，过渡腔顶部设置有料框支架，且过渡腔内设置有内循环冷却系统；冷阱装置通过真空管路连通有真空机组；真空机组、过渡腔，以及真空室设置有冷却循环水系统；真空管路连接有气源供气系统；升降组件、炉体、内循环冷却系统、真空机组和气源供气系统连接有工控系统。本实用新型设计合理，降温更均匀，双罗茨泵真空机组的抽真空速度快，操作方便，能够提高设备的可靠性，大大提高磁性材料镝/铽扩渗炉生产的制品的质量和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 过渡腔 真空机组 扩渗炉 真空室 炉体 内循环冷却系统 新型磁性材料 本实用新型 供气系统 冷阱装置 炉体升降 真空管路 连通 冷却循环水系统 磁性材料 底部连接 顶部设置 工控系统 内部设置 升降组件 抽真空 固定板 罗茨泵 料框 支架 生产 | ||
【主权项】：
1.一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件，炉体升降组件上设置有炉体；所述炉体的内部设置有安装在固定板上的真空室，真空室底部连接有过渡腔；所述过渡腔一端连通有冷阱装置，过渡腔顶部设置有料框支架，且过渡腔内设置有内循环冷却系统；所述冷阱装置通过真空管路连通有真空机组；真空机组、过渡腔，以及真空室设置有冷却循环水系统；所述真空管路连接有气源供气系统；所述炉体升降组件、炉体、内循环冷却系统、真空机组和气源供气系统连接有工控系统。
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