[实用新型]一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉有效
| 申请号: | 201820095760.9 | 申请日: | 2018-01-21 |
| 公开(公告)号: | CN208026053U | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
| 发明(设计)人: | 刘洋 | 申请(专利权)人: | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D7/06;F27D9/00;F27D19/00;C23C10/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 266000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 过渡腔 真空机组 扩渗炉 真空室 炉体 内循环冷却系统 新型磁性材料 本实用新型 供气系统 冷阱装置 炉体升降 真空管路 连通 冷却循环水系统 磁性材料 底部连接 顶部设置 工控系统 内部设置 升降组件 抽真空 固定板 罗茨泵 料框 支架 生产 | ||
本实用新型公开了一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉,包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件,炉体升降组件上设置有炉体;炉体的内部设置有安装在固定板上的真空室,真空室底部连接有过渡腔;过渡腔一端连通有冷阱装置,过渡腔顶部设置有料框支架,且过渡腔内设置有内循环冷却系统;冷阱装置通过真空管路连通有真空机组;真空机组、过渡腔,以及真空室设置有冷却循环水系统;真空管路连接有气源供气系统;升降组件、炉体、内循环冷却系统、真空机组和气源供气系统连接有工控系统。本实用新型设计合理,降温更均匀,双罗茨泵真空机组的抽真空速度快,操作方便,能够提高设备的可靠性,大大提高磁性材料镝/铽扩渗炉生产的制品的质量和性能。
技术领域
本实用新型属于磁性材料镝/铽扩渗炉领域,更具体地说,涉及一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉。
背景技术
磁性材料在高温烧结成坯块后继续进行镝/铽扩渗处理,可显著降低成本(降低重稀土使用量),同时提高制品的矫顽力。镝/铽扩渗炉的高可靠性主要体现在高极限真空度、温度均匀度和快速冷却。
但是目前的扩渗炉还不能达到这个要求。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供了一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉,设计合理,降温更均匀,双罗茨泵真空机组的抽真空速度快,冷态下可达到极限真空度6.0*10-4Pa,工艺气体恒压(可设定)控制系统能够保证镝/铽扩渗工艺气氛,带有垂直导轨的升降动力系统使真空室和炉体的升降更平稳,提高炉体和真空室的使用寿命,独立的工控系统实现集中控制,操作方便,能够提高设备的可靠性,大大提高磁性材料镝/铽扩渗炉生产的制品的质量和性能,实用性强,适于推广。
为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:
一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉,其特征在于:包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件,炉体升降组件上设置有炉体;所述炉体的内部设置有安装在固定板上的真空室,真空室底部连接有过渡腔;所述过渡腔一端连通有冷阱装置,过渡腔顶部设置有料框支架,且过渡腔内设置有内循环冷却系统;所述冷阱装置通过真空管路连通有真空机组;真空机组、过渡腔,以及真空室设置有冷却循环水系统;所述真空管路连接有气源供气系统;所述炉体升降组件、炉体、内循环冷却系统、真空机组和气源供气系统连接有工控系统。
作为一种优化的技术方案,所述炉体升降组件包括安装在机架中部且垂直向上设置的导轨,导轨内侧设置有升降动力系统;升降动力系统设置有螺杆、液压杆、链轮链条、齿轮齿条,且连接固定板实现固定板及炉体平稳的上升或者下降。
作为一种优化的技术方案,所述炉体为立式加热炉体,内部装有螺旋形铁铬铝电阻丝加热元件,加热炉体内部装有水冷真空室。
作为一种优化的技术方案,所述过渡腔设置有内循环冷却系统,顶部料框支架,一端连接有冷阱装置;所述内循环冷却系统包括安装在过渡腔内的离心风机和热交换器;所述离心风机连接工控系统。
作为一种优化的技术方案,所述工控系统包括控制柜体,控制柜体包含工控机以及安装在控制柜体内的电器元件,电器元件负责功率加热及温度控制系统,工控机负责控制设备自动运行、报警和提示。
作为一种优化的技术方案,所述气源供气系统包括供气管道、气体流量控制器、控制阀门、压力控制系统,通过流量控制器控制气体流量,经过供气管道连接到真空管路,压力控制系统负责进行可设定的工艺气体恒压控制。
作为一种优化的技术方案,所述真空机组包括扩散泵、双罗茨泵、前级泵、维持泵、真空阀门及波纹管;所述双罗茨泵由主次二个罗茨泵串联组成;所述维持泵连接扩散泵,负责对扩散泵进行预热或冷却抽真空。
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