[实用新型]一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉

权利要求书

1.一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件，炉体升降组件上设置有炉体；所述炉体的内部设置有安装在固定板上的真空室，真空室底部连接有过渡腔；

所述过渡腔一端连通有冷阱装置，过渡腔顶部设置有料框支架，且过渡腔内设置有内循环冷却系统；所述冷阱装置通过真空管路连通有真空机组；真空机组、过渡腔，以及真空室设置有冷却循环水系统；所述真空管路连接有气源供气系统；

所述炉体升降组件、炉体、内循环冷却系统、真空机组和气源供气系统连接有工控系统。

2.根据权利要求1所述的一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：所述炉体升降组件包括安装在机架中部且垂直向上设置的导轨，导轨内侧设置有升降动力系统；升降动力系统设置有螺杆、液压杆、链轮链条、齿轮齿条，且连接固定板实现固定板及炉体平稳的上升或者下降。

3.根据权利要求2所述的一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：所述炉体为立式加热炉体，内部装有螺旋形铁铬铝电阻丝加热元件；加热炉体内部装有水冷真空室。

4.根据权利要求3所述的一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：所述过渡腔设置有内循环冷却系统，顶部料框支架，一端连接有冷阱装置；所述内循环冷却系统包括安装在过渡腔内的离心风机和热交换器；所述离心风机连接工控系统。

5.根据权利要求4所述的一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：所述工控系统包括控制柜体，控制柜体包含工控机以及安装在控制柜体内的电器元件，电器元件负责功率加热及温度控制系统，工控机负责控制设备自动运行、报警和提示。

6.根据权利要求1所述的一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：所述气源供气系统包括供气管道、气体流量控制器、控制阀门、压力控制系统，通过流量控制器控制气体流量，经过供气管道连接到真空管路，压力控制系统负责进行可设定的工艺气体恒压控制。

7.根据权利要求1所述的一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：所述真空机组包括扩散泵、双罗茨泵、前级泵、维持泵、真空阀门及波纹管；所述双罗茨泵由主次二个罗茨泵串联组成；所述维持泵连接扩散泵，负责对扩散泵进行预热或冷却抽真空。