[实用新型]一种蒸镀机有效
| 申请号： | 201820080823.3 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN207775337U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 黄俊杰;谷春生;赵鑫 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀机，包括：第一基台和第二基台，还包括：距离测量模块、数据处理模块和驱动模块；距离测量模块，用于测量第一基台与蒸镀机所放置于的真空腔室顶部之间的多个第一距离，和/或第一基台与第二基台之间的多个第二距离；驱动模块，用于带动第一基台和/或第二基台；数据处理模块，用于根据测量得到的多个第一距离，控制驱动模块对第一基台的水平度进行调整，和/或根据测量得到的多个第二距离，控制驱动模块对第二基台的水平度进行调整，本实用新型实施例通过根据测量到的距离自动调节第一基台和/或第二基台的水平度，不仅能够实时调整蒸镀机的基台的水平度，而且还提高调整精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基台 水平度 蒸镀机 测量 距离测量模块 控制驱动模块 数据处理模块 本实用新型 驱动模块 实时调整 真空腔室 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀机，其特征在于，包括：第一基台和第二基台，还包括：距离测量模块、数据处理模块和驱动模块；其中，所述距离测量模块，用于测量所述第一基台与所述蒸镀机所放置于的真空腔室顶部之间的多个第一距离，和/或所述第一基台与所述第二基台之间的多个第二距离；所述驱动模块，用于带动所述第一基台和/或所述第二基台；所述数据处理模块，与所述距离测量模块和所述驱动模块电连接，用于根据测量得到的多个第一距离，控制所述驱动模块对所述第一基台的水平度进行调整，和/或根据测量得到的多个第二距离，控制所述驱动模块对所述第二基台的水平度进行调整。
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