[实用新型]一种蒸镀机

说明书

本实用新型公开了一种蒸镀机，包括：第一基台和第二基台，还包括：距离测量模块、数据处理模块和驱动模块；距离测量模块，用于测量第一基台与蒸镀机所放置于的真空腔室顶部之间的多个第一距离，和/或第一基台与第二基台之间的多个第二距离；驱动模块，用于带动第一基台和/或第二基台；数据处理模块，用于根据测量得到的多个第一距离，控制驱动模块对第一基台的水平度进行调整，和/或根据测量得到的多个第二距离，控制驱动模块对第二基台的水平度进行调整，本实用新型实施例通过根据测量到的距离自动调节第一基台和/或第二基台的水平度，不仅能够实时调整蒸镀机的基台的水平度，而且还提高调整精度。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，具体涉及一种蒸镀机。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)通过蒸镀机蒸镀有机材料来制作OLED功能层中的有机发光功能层。蒸镀机主要包括：用于放置基板的第一基台和用于放置掩膜板的第二基台，其工作原理为蒸镀的有机材料通过掩膜板向基板蒸镀。

出于OLED量产的需要，现有的蒸镀机在蒸镀过程中会随着机械频繁运动，进而导致蒸镀机中的基台的水平度有偏差，出现掩膜板偏移以及无法成功对位的问题，影响了OLED的量产节拍及稳定性。

经发明人研究发现，目前的蒸镀机是通过工作人员在生产维护阶段，将蒸镀机降温，破除真空状态才对基台的水平度进行手动调整，因此，现有的蒸镀机不仅无法实时调整基台的水平度，而且调整精度也不高。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种蒸镀机，不仅能够实时调整蒸镀机的基台的水平度，而且还提高了调整精度。

为了达到本实用新型目的，本实用新型提供了一种蒸镀机，包括：第一基台和第二基台，还包括：距离测量模块、数据处理模块和驱动模块；其中，

所述距离测量模块，用于测量所述第一基台与所述蒸镀机所放置于的真空腔室顶部之间的多个第一距离，和/或所述第一基台与所述第二基台之间的多个第二距离；

所述驱动模块，用于带动所述第一基台和/或所述第二基台；

所述数据处理模块，与所述距离测量模块和所述驱动模块电连接，用于根据测量得到的多个第一距离，控制所述驱动模块对所述第一基台的水平度进行调整，和/或根据测量得到的多个第二距离，控制所述驱动模块对所述第二基台的水平度进行调整。

可选地，所述距离测量模块包括：第一距离测量单元和/或第二距离测量单元；

所述第一距离测量单元，设置在所述第一基台上，用于测量所述第一基台与所述真空腔室顶部之间的多个第一距离；

所述第二距离测量单元，设置在所述第二基台上，用于测量所述第一基台与所述第二基台之间的多个第二距离。

可选地，所述第一基台包括：相对设置的上基台和下基台、以及用于连接所述上基台和所述下基台的连接部；

所述第一距离测量单元设置在所述上基台靠近所述真空腔室顶部的一侧。

可选地，所述第二距离测量单元设置在所述第二基台靠近所述上基台的一侧。

可选地，所述第一距离测量单元和/或所述第二距离测量单元包括：多个距离测量子单元。

可选地，所述距离测量子单元包括：距离传感器。

可选地，所述数据处理模块包括：数据处理单元和驱动控制单元；其中，

所述数据处理单元，用于根据测量得到的多个第一距离，获得多个第一补正距离，和/或根据测量得到的多个第二距离，获得多个第二补正距离；