[实用新型]真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201820031202.6 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN207958494U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 柯荣锋;李硕;于甄;常家华 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;顾天乐 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种真空镀膜技术领域的真空镀膜设备，包括：箱体，其具有真空腔；转鼓，其可转动地设置在所述真空腔内，所述膜产品贴附在所述转鼓的外表面以随所述转鼓运动；真空泵，其设置于箱体外；化学源抽吸管道，其连接于转鼓与真空泵之间，且化学源抽吸管道在箱体外的可视区域内设有透明观察窗，镀膜气体从转鼓经化学源抽吸管道输出至真空泵时，途经透明观察窗，所述镀膜气体包括未发生反应的化学源气体与未沉积于膜产品表面的反应生成化合物；腔室抽真空管道，其连接于真空腔与真空泵之间，真空腔内的气体从真空腔经腔室抽真空管道输出至真空泵。本实用新型能够对反应过程中出现的白色粉末进行监控，以便及时调整化学源流量，避免化学源浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 化学源 真空泵 真空腔 转鼓 抽吸管道 真空镀膜设备 腔室抽真空 透明观察窗 镀膜气体 膜产品 反应生成化合物 真空镀膜技术 本实用新型 白色粉末 可视区域 输出 可转动 源流量 沉积 贴附 监控 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：箱体，其具有真空腔；转鼓，其可转动地设置在所述真空腔内，所述膜产品贴附在所述转鼓的外表面以随所述转鼓运动；真空泵，其设置于箱体外；化学源抽吸管道，其连接于转鼓与真空泵之间，且化学源抽吸管道在箱体外的可视区域内设有透明观察窗，镀膜气体从转鼓经化学源抽吸管道输出至真空泵时，途经透明观察窗，所述镀膜气体包括未发生反应的化学源气体与未沉积于膜产品表面的反应生成化合物；腔室抽真空管道，其连接于真空腔与真空泵之间，真空腔内的气体从真空腔经腔室抽真空管道输出至真空泵。
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