[实用新型]真空镀膜设备

权利要求书

1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：

箱体，其具有真空腔；

转鼓，其可转动地设置在所述真空腔内，所述膜产品贴附在所述转鼓的外表面以随所述转鼓运动；

真空泵，其设置于箱体外；

化学源抽吸管道，其连接于转鼓与真空泵之间，且化学源抽吸管道在箱体外的可视区域内设有透明观察窗，镀膜气体从转鼓经化学源抽吸管道输出至真空泵时，途经透明观察窗，所述镀膜气体包括未发生反应的化学源气体与未沉积于膜产品表面的反应生成化合物；

腔室抽真空管道，其连接于真空腔与真空泵之间，真空腔内的气体从真空腔经腔室抽真空管道输出至真空泵。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述透明观察窗固定在柱形结构上，所述柱形结构与化学源抽吸管道固定连接。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述柱形结构轴向、与柱形结构相连处化学源抽吸管道的轴向两者垂直。

4.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述透明观察窗与柱形结构之间、柱形结构与化学源抽吸管道之间均为密封连接。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括阀门组件，阀门组件包括第一阀门、第二阀门与同步控制机构，其中，第一阀门设于化学源抽吸管道上，在第一阀门开启时，镀膜气体从转鼓经化学源抽吸管道输出至真空泵，在第一阀门关闭时，镀膜气体截止于第一阀门处；第二阀门设于腔室抽真空管道上，在第二阀门开启时，真空腔内的气体从真空腔经腔室抽真空管道输出至真空泵，在第二阀门关闭时，真空腔内的气体截止于第二阀门处；同步控制机构连接第一阀门与第二阀门，所述同步控制机构同步控制第一阀门与第二阀门的开启与关闭。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述阀门组件还包括监控器，所述的监控器连接第一阀门、第二阀门和同步控制机构并监控第一阀门、第二阀门和同步控制机构的运行状态，当三者的运行状态无法匹配时发出报警信号。