[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201820030475.9 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN207820227U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张金宇;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有声腔的基底和固定于所述基底的电容结构，所述电容结构包括背极板以及与所述背极板相对间隔设置的振动膜，所述背极板设有贯通的平衡孔，所述振动膜设有贯通的导通孔，所述导通孔向所述背极板方向的正投影至少部分未落入所述平衡孔的范围。与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风可靠性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 背极板 本实用新型 电容结构 导通孔 平衡孔 振动膜 基底 贯通 间隔设置 正投影 声腔 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括具有声腔的基底和固定于所述基底的电容结构，所述电容结构包括背极板以及与所述背极板相对间隔设置的振动膜，所述背极板设有贯通的平衡孔，所述振动膜设有贯通的导通孔，其特征在于，所述导通孔向所述背极板方向的正投影至少部分未落入所述平衡孔的范围。
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