[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201820030475.9 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN207820227U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张金宇;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背极板 本实用新型 电容结构 导通孔 平衡孔 振动膜 基底 贯通 间隔设置 正投影 声腔 | ||
1.一种MEMS麦克风，包括具有声腔的基底和固定于所述基底的电容结构，所述电容结构包括背极板以及与所述背极板相对间隔设置的振动膜，所述背极板设有贯通的平衡孔，所述振动膜设有贯通的导通孔，其特征在于，所述导通孔向所述背极板方向的正投影至少部分未落入所述平衡孔的范围。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述导通孔与所述平衡孔均包括多个，且所述导通孔向所述背极板方向的正投影与所述平衡孔形成交错排布。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，单个所述导通孔的面积与单个所述平衡孔的面积不相同。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述平衡孔包括多个且相互间隔设置，所述导通孔包括一个且所述导通孔向所述背极板方向的正投影仅覆盖部分所述平衡孔。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振动膜固定于所述基底，所述背极板位于所述振动膜的远离所述基底的一侧。
6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电容结构还包括支撑部，所述背极板通过所述支撑部与所述基底连接，所述支撑部位于所述振动膜的外侧。
7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极板与所述基底连接，所述振动膜位于所述背极板的远离所述基底的一侧。
8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电容结构还包括支撑部，所述振动膜通过所述支撑部与所述基底连接，所述支撑部位于所述振动膜的外侧。
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