[实用新型]MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有声腔的基底和固定于所述基底的电容结构，所述电容结构包括背极板以及与所述背极板相对间隔设置的振动膜，所述背极板设有贯通的平衡孔，所述振动膜设有贯通的导通孔，所述导通孔向所述背极板方向的正投影至少部分未落入所述平衡孔的范围。与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风可靠性更好。

技术领域

本实用新型涉及声电领域，尤其涉及一种运用于便携式电子产品的MEMS麦克风。

背景技术

通讯技术的发展，在全球范围内移动电话的用户越来越多，用户对移动电话的需求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计的好坏直接影响通话质量。

相关技术中的麦克风，特别是MEMS麦克风包括具有声腔的基底、固定于所述基底的背板、贴设于所述背板的固定电极和固定于所述基底并与所述背板相对间隔设置以形成电容结构的振膜。所述振膜设有贯穿其上的导通孔，所述背板设有贯穿其上的平衡孔。

然而，相关技术的MEMS麦克风中，所述导通孔与所述平衡孔正对设置，当所述振膜受到外力气流冲击时，容易因强度不足而破损，从而影响所述MEMS麦克风的可靠性。

因此，实有必须提供一种新的MEMS麦克风解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可靠性更好的MEMS麦克风。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有声腔的基底和固定于所述基底的电容结构，所述电容结构包括背极板以及与所述背极板相对间隔设置的振动膜，所述背极板设有贯通的平衡孔，所述振动膜设有贯通的导通孔，所述导通孔向所述背极板方向的正投影至少部分未落入所述平衡孔的范围。

优选的，所述导通孔与所述平衡孔均包括多个，且所述导通孔向所述背极板方向的正投影与所述平衡孔形成交错排布。

优选的，单个所述导通孔的面积与单个所述平衡孔的面积不相同。

优选的，所述平衡孔包括多个且相互间隔设置，所述导通孔包括一个且所述导通孔向所述背极板方向的正投影仅覆盖部分所述平衡孔。

优选的，所述振动膜固定于所述基底，所述背极板位于所述振动膜的远离所述基底的一侧。

优选的，所述电容结构还包括支撑部，所述背极板通过所述支撑部与所述基底连接，所述支撑部位于所述振动膜的外侧。

优选的，所述背极板与所述基底连接，所述振动膜位于所述背极板的远离所述基底的一侧。

优选的，所述电容结构还包括支撑部，所述振动膜通过所述支撑部与所述基底连接，所述支撑部位于所述振动膜的外侧。

与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风使所述振动膜的导通孔向所述背极板方向的正投影至少部分未落入所述背极板的所述平衡孔的范围，即所述导通孔与所述平衡孔不完全重叠，当所述振动膜受到气流冲击时，因所述导通孔与所述平衡孔不完全重叠，气流进入所述背极板和所述振动膜之间的间隙腔体后在不重叠区域形成高压区域，可抵消所述振动膜受到的冲击力，从而相当于提高了所述振动膜的强度，避免其被气流冲击破裂的风险，提高了所述MEMS麦克风的可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1为本实用新型MEMS麦克风的立体结构示意图；