[实用新型]多线切硅片脱胶清洗装置有效
| 申请号： | 201820011975.8 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN207952094U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 万喜增;蒋委达;郑元奎 | 申请（专利权）人： | 浙江中晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 韩燕燕;连围 |
| 地址： | 313100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种多线切硅片脱胶清洗装置，包括支架、设置于所述支架上的盛水槽、设置于所述盛水槽下方的排污口、喷淋清洗组件以及硅片承托架；所述喷淋清洗组件包括转动设置于所述盛水槽上的喷淋件、设置于所述喷淋件上的曲柄连杆件以及设置于所述盛水槽一端且驱动端与所述曲柄连杆件相连接的驱动件；所述硅片承托架包括承托支架、放置于所述承托支架上的硅片黏胶架以及设置于所述硅片黏胶架正下方的成品承接架；通过设置转动安装的喷淋件并配合方便拆卸安装的硅片承托架代替原有固定设置的清洗水管解决了清洗水管在进行单晶硅片的脱胶前清洗时只能对单晶硅片进行一个方向上的清洗，清洗效果较差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 盛水槽 承托架 喷淋件 喷淋清洗组件 承托支架 单晶硅片 硅片脱胶 清洗水管 清洗装置 曲柄连杆 多线 支架 黏胶 清洗 本实用新型 方便拆卸 固定设置 清洗效果 转动安装 转动设置 承接架 排污口 驱动端 驱动件 脱胶 配合 | ||
【主权项】：
1.多线切硅片脱胶清洗装置，包括支架(1)、设置于所述支架(1)上的盛水槽(2)以及设置于所述盛水槽(2)下方的排污口(3)，其特征在于，还包括：喷淋清洗组件(4)，所述喷淋清洗组件(4)包括转动设置于所述盛水槽(2)上的喷淋件(41)、设置于所述喷淋件(41)上的曲柄连杆件(42)以及设置于所述盛水槽(2)一端且驱动端与所述曲柄连杆件(42)相连接的驱动件(43)；以及硅片承托架(5)，所述硅片承托架(5)包括承托支架(51)、放置于所述承托支架(51)上的硅片黏胶架(52)以及设置于所述硅片黏胶架(52)正下方的成品承接架(53)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江中晶科技股份有限公司，未经浙江中晶科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820011975.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种喷淋式清洗设备
- 下一篇：一种便于连接的清洗杆体
