[实用新型]多线切硅片脱胶清洗装置

说明书

本实用新型提供一种多线切硅片脱胶清洗装置，包括支架、设置于所述支架上的盛水槽、设置于所述盛水槽下方的排污口、喷淋清洗组件以及硅片承托架；所述喷淋清洗组件包括转动设置于所述盛水槽上的喷淋件、设置于所述喷淋件上的曲柄连杆件以及设置于所述盛水槽一端且驱动端与所述曲柄连杆件相连接的驱动件；所述硅片承托架包括承托支架、放置于所述承托支架上的硅片黏胶架以及设置于所述硅片黏胶架正下方的成品承接架；通过设置转动安装的喷淋件并配合方便拆卸安装的硅片承托架代替原有固定设置的清洗水管解决了清洗水管在进行单晶硅片的脱胶前清洗时只能对单晶硅片进行一个方向上的清洗，清洗效果较差的技术问题。

技术领域

本实用新型属于单晶硅片加工领域，尤其涉及多线切硅片脱胶清洗装置。

背景技术

目前，现有的单晶硅棒在切割成单晶硅片后，在脱胶前要对单晶硅片进行清洗；传统的清洗方式都是直接用软管进行冲洗，这样会造成冲洗不均匀，冲洗效果差，同时要有工人一直在那操作，人工成本高。

中国专利CN201320723382.1描述了一种脱胶前单晶硅片的清洗装置，包括盛水槽、清洗支架和两根清洗水管，所述的清洗支架固定在盛水槽内，所述的清洗支架为长方体形，所述两根清洗水管分别设置在清洗支架的左右两侧，每根所述的清洗水管连接有一个水阀，所述水阀用于与供水管连接，每根所述的清洗水管相对于另一根清洗水管一侧的管壁上等距设置有多个出水孔；该实用新型实现对单晶硅片的自动，均匀地清洗，解决现有单晶硅片清洗效果差的问题。

上述机构存在许多不足，如通过在盛水槽内设置两根清洗水管并在该清洗水管上均布开设出水口，该清洗水管在进行单晶硅片的脱胶前清洗时只能对单晶硅片进行一个方向上的清洗，清洗效果较差。

实用新型内容

本实用新型的针对现有技术的不足提供一种多线切硅片脱胶清洗装置，通过设置转动安装的喷淋件并配合方便拆卸安装的硅片承托架代替原有固定设置的清洗水管解决了清洗水管在进行单晶硅片的脱胶前清洗时只能对单晶硅片进行一个方向上的清洗，清洗效果较差的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

多线切硅片脱胶清洗装置，包括支架、设置于所述支架上的盛水槽以及设置于所述盛水槽下方的排污口，还包括：

喷淋清洗组件，所述喷淋清洗组件包括转动设置于所述盛水槽上的喷淋件、设置于所述喷淋件上的曲柄连杆件以及设置于所述盛水槽一端且驱动端与所述曲柄连杆件相连接的驱动件；以及

硅片承托架，所述硅片承托架包括承托支架、放置于所述承托支架上的硅片黏胶架以及设置于所述硅片黏胶架正下方的成品承接架。

作为改进，所述喷淋件包括：

喷淋管，所述喷淋管数量为两个且相对设置于所述盛水槽内，该喷淋管外圆周面上沿轴向均布开设有若干喷淋孔；

转动架，所述转动架一端与所述盛水槽相固定连接，其另一端用于承接放置转动设置的喷淋管。

作为改进，所述曲柄连杆件包括：

第一连杆，所述第一连杆数量为两个且分别与所述喷淋管伸出盛水槽一端相固定连接；

第二连杆，所述第二连杆两端分别与所述第一连杆相铰接；

转动曲柄，所述转动曲柄一端与所述第一连杆相铰接其另一端与所述驱动件驱动端相连接。

作为改进，所述承托支架包括：

手柄件，所述手柄件数量为两个且沿所述承托支架长度方向对称设置；

硅片黏胶架放置槽，所述硅片黏胶架放置槽开设于所述承托支架上表面上。

作为改进，所述硅片黏胶架包括：

基块；