[实用新型]多线切硅片脱胶清洗装置

权利要求书

1.多线切硅片脱胶清洗装置，包括支架(1)、设置于所述支架(1)上的盛水槽(2)以及设置于所述盛水槽(2)下方的排污口(3)，其特征在于，还包括：

喷淋清洗组件(4)，所述喷淋清洗组件(4)包括转动设置于所述盛水槽(2)上的喷淋件(41)、设置于所述喷淋件(41)上的曲柄连杆件(42)以及设置于所述盛水槽(2)一端且驱动端与所述曲柄连杆件(42)相连接的驱动件(43)；以及

硅片承托架(5)，所述硅片承托架(5)包括承托支架(51)、放置于所述承托支架(51)上的硅片黏胶架(52)以及设置于所述硅片黏胶架(52)正下方的成品承接架(53)。

2.根据权利要求1所述的多线切硅片脱胶清洗装置，其特征在于，所述喷淋件(41)包括：

喷淋管(411)，所述喷淋管(411)数量为两个且相对设置于所述盛水槽(2)内，该喷淋管(411)外圆周面上沿轴向均布开设有若干喷淋孔(4111)；

转动架(412)，所述转动架(412)一端与所述盛水槽(2)相固定连接，其另一端用于承接放置转动设置的喷淋管(411)。

3.根据权利要求1所述的多线切硅片脱胶清洗装置，其特征在于，所述曲柄连杆件(42)包括：

第一连杆(421)，所述第一连杆(421)数量为两个且分别与所述喷淋管(411)伸出盛水槽(2)一端相固定连接；

第二连杆(422)，所述第二连杆(422)两端分别与所述第一连杆(421)相铰接；

转动曲柄(423)，所述转动曲柄(423)一端与所述第一连杆(421)相铰接其另一端与所述驱动件(43)驱动端相连接。

4.根据权利要求1所述的多线切硅片脱胶清洗装置，其特征在于，所述承托支架(51)包括：

手柄件(511)，所述手柄件(511)数量为两个且沿所述承托支架(51)长度方向对称设置；

硅片黏胶架放置槽(512)，所述硅片黏胶架放置槽(512)开设于所述承托支架(51)上表面上。

5.根据权利要求1所述的多线切硅片脱胶清洗装置，其特征在于，所述硅片黏胶架(52)包括：

基块(521)；

黏胶(522)，所述黏胶(522)涂抹于所述基块(521)下表面上；

晶锭(523)，所述晶锭(523)黏贴于所述黏胶(522)的下表面上；

拎手部(524)，所述拎手部(524)设置于所述基块(521)上且与该基块(521)可拆卸安装，该拎手部(524)安装与所述承托支架(51)上时与所述硅片黏胶架放置槽(512)相配合安装。

6.根据权利要求1所述的多线切硅片脱胶清洗装置，其特征在于，所述成品承接架(53)包括：

第一承载杆(531)，所述第一承载杆(531)设置于所述承托支架(51)宽度方向的中心线一侧；

第二承载杆(532)，所述第二承载杆(532)设置于所述承托支架(51)上且位于所述第一承载杆(531)上方；

第三承载杆(533)，所述第三承载杆(533)与所述第二承载杆(532)沿所述承托支架(51)宽度方向对称设置且位于所述第一承载杆(531)两端；

第四承载杆(534)，所述第四承载杆(534)设置于所述承托支架(51)宽度方向的中心线另一侧。

7.根据权利要求4所述的多线切硅片脱胶清洗装置，其特征在于，所述手柄件(511)包括：

螺栓(5111)，所述螺栓(5111)数量为两个且其沿所述承托支架(51)宽度方向对称设置；

手柄(5112)，所述手柄(5112)转动设置于所述螺栓(5111)内。