[实用新型]一种硅片插片机用硅片不良品检测装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片插片机用硅片不良品检测装置。当前，现有的硅片不良品检测装置采用的检测方法主要为视觉检测，既安装摄像头进行拍照，然后电脑分析硅片是否破损，成本高，检测效果不尽如人意，准确率偏低。本实用新型涉及一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其中：第一固定座安装于硅片插片机的机架上，两根连接轴安装于第一固定座上，检视支架通过连接轴与第一固定座连接，四根光电支架安装于检视支架上表面四个角的位置上。本装置采用四个光纤传感器来检测破损硅片来检测硅片是否有破损，只要有一个光纤检测不到，该硅片将视为不良品挑出拿掉，通过该装置节省了后面工序的时间，提高了企业生产效率，避免了时间和资源的浪费。

主权项

1.一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，包括机架(1)、第一固定座(2)、连接轴(3)、光电支架(4)、检视支架(5)、螺纹型光纤(6)、输送带(7)、第二固定座(8)、吸嘴固定板(9)、连接板(10)、升降气缸(11)、旋转气缸(12)、废料托盘(13)、旋转气缸固定板(14)、吸嘴(15)；其特征在于：第一固定座(2)安装于硅片插片机的机架(1)上，两根连接轴(3)安装于第一固定座(2)上，检视支架(5)通过连接轴(3)与第一固定座(2)连接，四根光电支架(4)安装于检视支架(5)上表面四个角的位置上，螺纹型光纤(6)固定于光电支架(4)上，第一固定座(2)的一侧设有第二固定座(8)，第二固定座(8)安装于硅片插片机的机架(1)上，第二固定座(8)与连接板(10)连接，连接板(10)上安装有升降气缸(11)，升降气缸(11)内的活塞杆与旋转气缸固定板(14)连接，旋转气缸固定板(14)上安装有旋转气缸(12)，旋转气缸(12)内的转轴与吸嘴固定板(9)连接，吸嘴固定板(9)下表面四个角的位置上安装有四个吸嘴(15)，检视支架(5)下方设有输送带(7)，输送带(7)上放置有硅片(18)，机架(1)上安装有真空发生器(17)，输送带(7)一侧设有废料托盘(13)，废料托盘(13)安装于机架(1)上。