[实用新型]一种硅片插片机用硅片不良品检测装置

说明书

本实用新型涉及一种硅片插片机用硅片不良品检测装置。当前，现有的硅片不良品检测装置采用的检测方法主要为视觉检测，既安装摄像头进行拍照，然后电脑分析硅片是否破损，成本高，检测效果不尽如人意，准确率偏低。本实用新型涉及一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其中：第一固定座安装于硅片插片机的机架上，两根连接轴安装于第一固定座上，检视支架通过连接轴与第一固定座连接，四根光电支架安装于检视支架上表面四个角的位置上。本装置采用四个光纤传感器来检测破损硅片来检测硅片是否有破损，只要有一个光纤检测不到，该硅片将视为不良品挑出拿掉，通过该装置节省了后面工序的时间，提高了企业生产效率，避免了时间和资源的浪费。

技术领域

本实用新型涉及硅片插片机技术领域，尤其是一种硅片插片机用硅片不良品检测装置。

背景技术

在硅片插片机进行插片的过程中，来料中往往会有一些破损的硅片，而破损的硅片不能使用，应该把破损的硅片挑拣出来，因此需要有硅片不良品检测装置来进行检测分拣，当前，现有的硅片不良品检测装置采用的检测方法主要为视觉检测，既安装摄像头进行拍照，然后电脑分析硅片是否破损，成本高，检测效果不尽如人意，准确率偏低，存在不足。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，为克服上述的不足，采用四个光纤传感器来检测破损硅片，四个光纤安装固定在四角位置，来检测硅片是否有破损，只要有一个光纤检测不到，该硅片将视为不良品挑出拿掉，通过该装置节省了后面工序的时间，提高了企业生产效率，避免了时间和资源的浪费，采用四个螺纹型光纤来进行检测，准确率更高，并且成本低。

为了解决上述问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，包括机架、第一固定座、连接轴、光电支架、检视支架、螺纹型光纤、输送带、第二固定座、吸嘴固定板、连接板、升降气缸、旋转气缸、废料托盘、旋转气缸固定板、吸嘴；其中：第一固定座安装于硅片插片机的机架上，两根连接轴安装于第一固定座上，检视支架通过连接轴与第一固定座连接，四根光电支架安装于检视支架上表面四个角的位置上，螺纹型光纤固定于光电支架上，第一固定座的一侧设有第二固定座，第二固定座安装于硅片插片机的机架上，第二固定座与连接板连接，连接板上安装有升降气缸，升降气缸内的活塞杆与旋转气缸固定板连接，旋转气缸固定板上安装有旋转气缸，旋转气缸内的转轴与吸嘴固定板连接，吸嘴固定板下表面四个角的位置上安装有四个吸嘴，检视支架下方设有输送带，输送带上放置有硅片，机架上安装有真空发生器，输送带一侧设有废料托盘，废料托盘安装于机架上。

一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其中：所述真空发生器通过气管与所述吸嘴连接。

一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其中：所述机架上设有PLC控制器。

一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其中：所述PLC控制器分别与螺纹型光纤、升降气缸、旋转气缸、真空发生器连接。

一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其中：所述螺纹型光纤的数量为4个。

本实用新型的优点在于：本装置采用四个光纤传感器来检测破损硅片，四个光纤安装固定在四角位置，来检测硅片是否有破损，只要有一个光纤检测不到，该硅片将视为不良品挑出拿掉，通过该装置节省了后面工序的时间，提高了企业生产效率，避免了时间和资源的浪费，采用四个螺纹型光纤来进行检测，准确率更高，并且成本低。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的主视图。

附图标记：机架1、第一固定座2、连接轴3、光电支架4、检视支架5、螺纹型光纤 6、输送带7、第二固定座8、吸嘴固定板9、连接板10、升降气缸11、旋转气缸12、废料托盘13、旋转气缸固定板14、吸嘴15、PLC控制器16、真空发生器17、硅片18。