[实用新型]一种硅片插片机用硅片不良品检测装置

权利要求书

1.一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，包括机架(1)、第一固定座(2)、连接轴(3)、光电支架(4)、检视支架(5)、螺纹型光纤(6)、输送带(7)、第二固定座(8)、吸嘴固定板(9)、连接板(10)、升降气缸(11)、旋转气缸(12)、废料托盘(13)、旋转气缸固定板(14)、吸嘴(15)；其特征在于：第一固定座(2)安装于硅片插片机的机架(1)上，两根连接轴(3)安装于第一固定座(2)上，检视支架(5)通过连接轴(3)与第一固定座(2)连接，四根光电支架(4)安装于检视支架(5)上表面四个角的位置上，螺纹型光纤(6)固定于光电支架(4)上，第一固定座(2)的一侧设有第二固定座(8)，第二固定座(8)安装于硅片插片机的机架(1)上，第二固定座(8)与连接板(10)连接，连接板(10)上安装有升降气缸(11)，升降气缸(11)内的活塞杆与旋转气缸固定板(14)连接，旋转气缸固定板(14)上安装有旋转气缸(12)，旋转气缸(12)内的转轴与吸嘴固定板(9)连接，吸嘴固定板(9)下表面四个角的位置上安装有四个吸嘴(15)，检视支架(5)下方设有输送带(7)，输送带(7)上放置有硅片(18)，机架(1)上安装有真空发生器(17)，输送带(7)一侧设有废料托盘(13)，废料托盘(13)安装于机架(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其特征在于：所述真空发生器(17)通过气管与所述吸嘴(15)连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其特征在于：所述机架(1)上设有PLC控制器(16)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其特征在于：所述PLC控制器(16)分别与螺纹型光纤(6)、升降气缸(11)、旋转气缸(12)、真空发生器(17)连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用硅片不良品检测装置，其特征在于：所述螺纹型光纤(6)的数量为4个。