[实用新型]掩膜板框架、掩膜板及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201820002531.8 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN207828397U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 吕守华;黄俊杰;李宝军 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种掩膜板框架，用于安装掩膜板主体，所述掩膜板主体包括设有开口图案的多个掩膜条；包括相对设置的至少两个边框，所述边框包括用于固定连接掩膜板主体的第一表面，所述第一表面上沿所述边框的长度方向设置有可拆卸连接的多个连接件，所述连接件用于固定连接所述掩膜条的端部。本实用新型还涉及一种掩膜板及蒸镀设备。本实用新型的有益效果是：需要更换掩膜条时，将连接件拆卸下来即可，无需打磨框架表面，延长框架使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 边框 本实用新型 连接件 掩膜条 第一表面 蒸镀设备 长度方向设置 可拆卸连接 开口图案 框架表面 使用寿命 相对设置 拆卸 打磨 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板框架，用于安装掩膜板主体，所述掩膜板主体包括设有开口图案的多个掩膜条；其特征在于，包括相对设置的至少两个边框，所述边框包括用于固定连接掩膜板主体的第一表面，所述第一表面上沿所述边框的长度方向设置有可拆卸连接的多个连接件，所述连接件用于固定连接所述掩膜条的端部。
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