[实用新型]掩膜板框架、掩膜板及蒸镀设备

说明书

本实用新型涉及一种掩膜板框架，用于安装掩膜板主体，所述掩膜板主体包括设有开口图案的多个掩膜条；包括相对设置的至少两个边框，所述边框包括用于固定连接掩膜板主体的第一表面，所述第一表面上沿所述边框的长度方向设置有可拆卸连接的多个连接件，所述连接件用于固定连接所述掩膜条的端部。本实用新型还涉及一种掩膜板及蒸镀设备。本实用新型的有益效果是：需要更换掩膜条时，将连接件拆卸下来即可，无需打磨框架表面，延长框架使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种掩膜板框架、掩膜板及蒸镀设备。

背景技术

现有的OLED(有机发光二极管，Organic Light-Emitting Diode)有机蒸镀镀膜的技术，利用高精度金属掩膜板作为模具，有机材料高温挥发后、以材料分子状态透过掩膜板的有效开口蒸镀到背板玻璃上的ITO(透明导电膜)开口上实现有机发光。

掩膜板包括框架和金属掩膜条，掩膜条的两端焊接固定于框架的相对的两个边框上。当掩膜条发生损伤后，需要更换新的掩膜条，在新的掩膜条焊接前，需要先将坏的掩膜条撕掉，且需要将框架表面残留的焊点及残留的掩膜条打磨干净，由于重复焊接掩膜条，不断被打磨焊接表面，框架容易发生变薄，变形，平坦度加大等问题，影响使用寿命。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种掩膜板框架、掩膜板及蒸镀设备，解决框架容易变形、使用寿命低的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种掩膜板框架，用于安装掩膜板主体，所述掩膜板主体包括设有开口图案的多个掩膜条；包括相对设置的至少两个边框，所述边框包括用于固定连接掩膜板主体的第一表面，所述第一表面上沿所述边框的长度方向设置有可拆卸连接的多个连接件，所述连接件用于固定连接所述掩膜条的端部。

进一步的，所述边框的第一表面上设置有卡槽，所述连接件卡接于所述卡槽内，且所述连接件在所述边框的长度方向上的长度与所述掩膜条的宽度相匹配。

进一步的，所述卡槽为沿相应的所述边框的长度方向设置的条形卡槽，所述连接件能够卡接于所述卡槽的不同位置处；在所述卡槽上设置有在所述卡槽的长度方向上对所述连接件进行限位的限位件，所述限位件活动连接于所述卡槽上，并能够在所述卡槽上改变位置。

进一步的，所述卡槽上沿所述卡槽的长度方向间隔设置有多个限位槽，所述限位件包括可拆卸地设置在至少部分所述限位槽内的限位块，所述限位块在所述卡槽深度方向上的厚度大于所述卡槽的深度，相邻两个所述限位块之间、以及所述限位块与所述卡槽的槽壁之间形成容纳所述连接件的限位空间。

进一步的，所述边框还包括与所述第一表面相背设置的第二表面；

所述限位槽由所述卡槽的槽底向所述第二表面所在方向凹陷形成，且所述限位槽沿与所述卡槽的延伸方向垂直的方向延伸，并贯穿所述卡槽的相对两侧。

进一步的，所述连接件为卡接于所述卡槽内的连接块，所述连接块在所述卡槽的深度方向上的厚度大于所述卡槽的深度。

进一步的，所述连接块具有用于与所述掩膜条的端部连接的第一连接面，所述第一连接面在垂直于所述第一表面的方向上、与所述第一表面之间具有第一高度，在所述边框的长度方向上，从所述边框的中部向所述边框的两端，所述连接块的所述第一高度逐渐减小。

进一步的，所述掩膜板主体还包括用于遮挡相邻两个所述掩膜条之间的间隙的遮挡条；所述连接块上具有与掩膜板的遮挡条连接的第二连接面；

所述连接块的第一连接面在垂直于所述第一表面的方向上、与所述第一表面之间具有第一高度，所述连接块的第二连接面在垂直于所述第一表面的方向上、与所述第一表面之间具有第二高度，所述第一高度大于所述第二高度。