[实用新型]掩膜板框架、掩膜板及蒸镀设备

权利要求书

1.一种掩膜板框架，用于安装掩膜板主体，所述掩膜板主体包括设有开口图案的多个掩膜条；其特征在于，包括相对设置的至少两个边框，所述边框包括用于固定连接掩膜板主体的第一表面，所述第一表面上沿所述边框的长度方向设置有可拆卸连接的多个连接件，所述连接件用于固定连接所述掩膜条的端部。

2.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其特征在于，所述边框的第一表面上设置有卡槽，所述连接件卡接于所述卡槽内，且所述连接件在所述边框的长度方向上的长度与所述掩膜条的宽度相匹配。

3.根据权利要求2所述的掩膜板框架，其特征在于，所述卡槽为沿相应的所述边框的长度方向设置的条形卡槽，所述连接件能够卡接于所述卡槽的不同位置处；在所述卡槽上设置有在所述卡槽的长度方向上对所述连接件进行限位的限位件，所述限位件活动连接于所述卡槽上，并能够在所述卡槽上改变位置。

4.根据权利要求3所述的掩膜板框架，其特征在于，所述卡槽上沿所述卡槽的长度方向间隔设置有多个限位槽，所述限位件包括可拆卸地设置在至少部分所述限位槽内的限位块，所述限位块在所述卡槽深度方向上的厚度大于所述卡槽的深度，相邻两个所述限位块之间、以及所述限位块与所述卡槽的槽壁之间形成容纳所述连接件的限位空间。

5.根据权利要求4所述的掩膜板框架，其特征在于，所述边框还包括与所述第一表面相背设置的第二表面；

所述限位槽由所述卡槽的槽底向所述第二表面所在方向凹陷形成，且所述限位槽沿与所述卡槽的延伸方向垂直的方向延伸，并贯穿所述卡槽的相对两侧。

6.根据权利要求2所述的掩膜板框架，其特征在于，所述连接件为卡接于所述卡槽内的连接块，所述连接块在所述卡槽的深度方向上的厚度大于所述卡槽的深度。

7.根据权利要求6所述的掩膜板框架，其特征在于，所述连接块具有用于与所述掩膜条的端部连接的第一连接面，所述第一连接面在垂直于所述第一表面的方向上、与所述第一表面之间具有第一高度，在所述边框的长度方向上，从所述边框的中部向所述边框的两端，所述连接块的所述第一高度逐渐减小。

8.根据权利要求6所述的掩膜板框架，其特征在于，所述掩膜板主体还包括用于遮挡相邻两个所述掩膜条之间的间隙的遮挡条；所述连接块上具有与掩膜板的遮挡条连接的第二连接面；

所述连接块的第一连接面在垂直于所述第一表面的方向上、与所述第一表面之间具有第一高度，所述连接块的第二连接面在垂直于所述第一表面的方向上、与所述第一表面之间具有第二高度，所述第一高度大于所述第二高度。

9.一种掩膜板，其特征在于，包括掩膜板主体及如权利要求1-8任一项所述的掩膜板框架，所述掩膜板主体的两端通过所述连接件分别固定连接于所述掩膜板框架的相对设置的两个所述边框上。

10.根据权利要求9所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括设置于相邻两个掩膜条之间的遮挡条，所述遮挡条的边缘与相邻的掩膜条的边缘重叠。

11.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求9-10任一项所述的掩膜板。