[实用新型]一种小型橇装式高真空获得及测量装置

摘要

本实用新型公开了一种小型橇装式高真空获得及测量装置。旋片式真空泵和控制电源、复合分子泵和控制器、复合真空计、装置总电源、电源指示灯均安装在操作柜上；高真空电磁压差式带充气阀接旋片式真空泵和金属波纹管，金属波纹管另一端接三通接头，三通接头另外两端分别接复合分子泵和高真空手动挡板直通阀；超高真空手动插板阀接复合分子泵和过渡真空室；过渡真空室一个接口与高真空挡板角阀连接，另一接口与高真空手动挡板直通阀连接，高真空手动挡板直通阀另一端接三通接头，三通接头其他两端分别接电阻规和电离规。本装置集成度高、移动方便、操作简单、运行安全、测量精确、拆卸灵活，可广泛用于各类小型真空设备获得高真空及真空度测量。

主权项

1.一种小型橇装式高真空获得及测量装置，包括安装在操作柜上的旋片式真空泵和控制电源、复合分子泵和控制器、高度可调节支架、复合真空计、装置总电源、电源指示灯、漏电及过载保护，其特征在于，旋片式真空泵通过地脚螺栓安装在操作柜安装橇上，复合分子泵通过高度可调节支架安装在操作柜安装橇上，复合分子泵高度和水平度根据操作柜的操作台面通过高度可调节支架进行调节，复合分子泵控制器、复合真空计、漏电及过载保护装置通过立轨和导轨安装在操作柜上，上下位置可调，装置总电源、电源指示灯和旋片式真空泵控制电源均集成在操作柜控制面板上；该装置还包括超高真空手动插板阀、过渡真空室、高真空电磁压差式带充气阀、高真空手动挡板直通阀、异径三通、高真空挡板角阀、金属波纹管、电离规、过渡接管、电阻规、加紧型真空快卸卡箍，特征在于，超高真空手动插板阀通过两面的刀口法兰分别接复合分子泵进气口和过渡真空室，高真空电磁压差式带充气阀接旋片式真空泵进气口和金属波纹管，金属波纹管另一端接三通接头，三通接头另外两端分别接复合分子泵出气口和高真空手动挡板直通阀，过渡真空室一个接口与高真空挡板角阀连接，另一接口与高真空手动挡板直通阀连接，高真空手动挡板直通阀另一端接三通接头，三通接头其他两端分别接电阻规和电离规，这些连接均采用加紧型真空快卸卡箍连接。