[实用新型]一种小型橇装式高真空获得及测量装置

权利要求书

1.一种小型橇装式高真空获得及测量装置，包括安装在操作柜上的旋片式真空泵和控制电源、复合分子泵和控制器、高度可调节支架、复合真空计、装置总电源、电源指示灯、漏电及过载保护，其特征在于，旋片式真空泵通过地脚螺栓安装在操作柜安装橇上，复合分子泵通过高度可调节支架安装在操作柜安装橇上，复合分子泵高度和水平度根据操作柜的操作台面通过高度可调节支架进行调节，复合分子泵控制器、复合真空计、漏电及过载保护装置通过立轨和导轨安装在操作柜上，上下位置可调，装置总电源、电源指示灯和旋片式真空泵控制电源均集成在操作柜控制面板上；该装置还包括超高真空手动插板阀、过渡真空室、高真空电磁压差式带充气阀、高真空手动挡板直通阀、异径三通、高真空挡板角阀、金属波纹管、电离规、过渡接管、电阻规、加紧型真空快卸卡箍，特征在于，超高真空手动插板阀通过两面的刀口法兰分别接复合分子泵进气口和过渡真空室，高真空电磁压差式带充气阀接旋片式真空泵进气口和金属波纹管，金属波纹管另一端接三通接头，三通接头另外两端分别接复合分子泵出气口和高真空手动挡板直通阀，过渡真空室一个接口与高真空挡板角阀连接，另一接口与高真空手动挡板直通阀连接，高真空手动挡板直通阀另一端接三通接头，三通接头其他两端分别接电阻规和电离规，这些连接均采用加紧型真空快卸卡箍连接。

2.根据权利要求1所述的一种小型橇装式高真空获得及测量装置，其特征在于，所述的旋片式真空泵型号为RVP-6，通过M8×60的地脚螺栓安装在操作柜安装橇上，并且在安装橇和旋片式真空泵之间装有减振弹簧，减振弹簧外径Φ30×36，丝径Φ4；操作柜总体尺寸为1150×800×850mm，由前后左右活动门、操作台面、控制面板、操作柜框架、支腿、丝杠型单边刹制式脚轮组成，前后左右活动门、控制面板和操作柜框架材料为Q235-A，操作台面材料为0Cr18Ni9，前后左右活动门设置有所用拉手；操作柜安装橇采用材料为Q235-A的角钢20×20×3焊接而成。

3.根据权利要求1所述的一种小型橇装式高真空获得及测量装置，其特征在于，所述的复合分子泵型号为FF-160/500G，通过高度可调节支架安装在操作柜安装橇上，复合分子泵与可调节支架通过M6×40内六角螺栓安装，高度可调节支架由复合分子泵支板、调节螺杆和M12螺母组成，材料为Q235，复合分子泵支板上开有4个直径为13mm的圆孔，中心开有Φ165的操作孔，调节螺杆长度为370mm，两端均加工长为60mm的M12螺纹，复合分子泵高度和水平度根据操作柜的操作台面通过旋转M12螺母进行调节，复合分子泵控制器型号为FD-II（B），复合真空计型号为ZDF-IV，均通过立轨和导轨安装在操作柜上，上下位置可调。

4.根据权利要求1所述的一种小型橇装式高真空获得及测量装置，其特征在于，所述的高真空电磁压差式带充气阀型号为GYC-JQ40/KF，出气口与旋片式真空泵进气口连接，进气口与KF40-500金属波纹管连接，金属波纹管的另一端与两边KF40法兰、中间KF25法兰的异径三通一端KF40法兰连接，异径三通接头的另一端KF40法兰与复合分子泵出气口连接，三通接头的中间KF25法兰端与型号为GM-25/KF高真空手动挡板直通阀的进气口连接，高真空手动挡板直通阀出气口作为检漏设备的备用连接端。

5.根据权利要求1所述的一种小型橇装式高真空获得及测量装置，其特征在于，所述的超高真空手动插板阀型号为型号CC-150A，通过两面的刀口法兰分别与复合分子泵进气口和过渡真空室的刀口法兰连接口连接，连接紧固件采用M8×55的不锈钢双头螺柱+螺母+弹垫+平垫，两面密封垫均采用DN150的紫铜密封垫；过渡真空室为圆筒形容器，材料为0Cr18Ni9，圆筒一端为DN150的刀口法兰接口、另一端与平板封头焊接，筒体上周向对称设置一个KF40加紧型真空快卸法兰接口和一个KF25加紧型真空快卸法兰接口。